中华人民共和国国家标准
GB/T 14603-2025代替GB/T 14603-2009 GB/T 26251-2010等
Electronic gas-Halide gas
国家标准化管理委员会 国家市场监督管理总局 发布
前言
本文件按照GB/T1.1-2020（标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
本文件代GB/T146032009《电子工业用气体三氟化硼》、GB/T14602-2014电子工业用气体氯化氢》、GB/T18994-2014（电子工业用气体高纯氯）、GB/T17874-2021《电子特气三氯化 硼）、GB/T26251-2010《氟和氟氮混合气体），与GB/T14603-2009、GB/T14602-2014、GB/T18994-2014、GB/T17874-2021GB/T26251-2010相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
更改了范围（见第1章，GB/T14603-2009的第1章、GB/T14602-2014的第1章、增加了“术语和定义"（见第3章）： GB/T18994-2014的第1章GB/T17874-2021的第1章、GB/T26251-2010的第1章）；更改了卤化物气体的技术要求（见第4章，GB/T14603-2009的第3章、GB/T14602-2014更改了采样的要求（见第5章，GB/T14603-2009的4.1.2、GB/T14602-2014的4.1.2、 （集GB/T 18994-2014 的 4.1.2、GB/T 17874-2021 的 5.2、GB/T 26251-2010 的 4.1.3);更改了纯度计算方法（见6.1 GB/T14603-2009的4.2）；2009 的 4.3 和 4 6) ;一增加了三氟化硼中甲烷、一氧化碳含量的测定方法（见6.2）： 更改了三氟化硼中四氟化硅含量的测定方法（见6.3，GB/T146032009的4.4）：删除了三氟化硼中硫酸盐含量的测定方法（见GB/T14603-2009的4.5）；一增加了三氟化硼中氟化氢含量的测定方法（见6.3）：一更改了氯化氢中氧十氢、氮、甲烷、乙炔、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法（见6.4， GB/T 14602-2014 的 4.3) ;一更改了高纯氯中氢、氧氯、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法（见6.5，GB/T189942014 的 4.3) ;更改了高纯氯中金属元素含量的测定方法（见6.17，GB/T18994-2014的4.5）；增加了三氟化氯中氧十氢、氮、四氟化碳含量的测定方法（见6.9）； 增加了三氟化氯中氟化氢含量的测定方法（见6.10）；更改了氟氮混合气中氟含量的测定方法（见6.11，GB/T26251-2010的4.2）；更改了氟氮混合气中（氧氯）含量的测定方法（见6.12，GB/T26251-2010的4.2）；更改了氟氮混合气中四氟化碳、氟化氢含量的测定方法（见6.13，GB/T26251-2010的4.2）；一增加了氟氮混合气中六氟化硫、一氧化碳、二氧化碳、碳酰氟、四氯化硅含量的测定方法（见 6.13) ;增加了澳化氢中氢、氧氢、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法（见6.14）；增加了溴化氢中氯化氢含量的测定方法（见6.15）：一增加了澳化氢中水分含量的测定方法（见6.16）；增加了三氟化硼中金属元素含量的测定方法（见6.17）；
更改了氧化氢中金属元素含量的测定方法（见6.17，GB/T14602-2014的4.5）；增加了三氟化氯中金属元素含量的测定方法（见6.17）：增加了溴化氢中金属元素含量的测定方法（见6.17）：增加了尾气处理的要求（见6.18）：更改了检验规期（见第7章，GB/T14603-2009的4.1、GB/T14602-2014的4.1、 GB/T 18994-2014 的 4.1、GB/T 26251-2010 的 4.1) ;一更改了标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求（见第8章，GB/T14603-2009的第5章、GB/T26251-2010的第5章）.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口.
本文件起草单位：吴华气体有限公司西南分公司、福建德尔科技股份有限公司、山东合益气体股份有限公司、浙江瑞亨电子材料有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、福建福豆新材料有限公技有限公司、上海栎智半导体科技有限公司、唐山三友电子化学品有限责任公司、浙江英德赛半导体材 司、大连华邦化学有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、福建永晶科技股份有限公司、迪森尔（北京）科料股份有限公司、广州广钢气体能源股份有限公司、同方藏视技术股份有限公司、北京鉴知技术有限公司、宁波从越科技创新有限公司、天津绿菱气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、大连科利德半导体材料股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、南大光电（乌兰察布）有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、中吴光明化工 研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、液化空气（中国）投资有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、杭州云必技术有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资（上海）有限公司、朗析仪器（上海）有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中AGC仪器有限公司北京代表处、上海凡伟仪器设备有限公司、贵州省产品质量检验检测院、宿州伊维特 复科金压力容器有限公司、中国计量大学、北京睿信捷环保科技有限公司、中国计量测试学会、爱尔兰新材料有限公司、西南化工研究设计院有限公司.
本文件主要起草人：赖晓峰、陈施华、杨军、李建新、郭晓俊、马建修、李嘉磊、王哲军、李智、孙芳、郭琼、侯鹏、钱吉、赵斌、吴希湖、刘春花、李文、李长健、彭佛晓、任如、徐正军、郑存强、倪志远、赵晓兰、董晓阳、陆岩柱、陈志强、王红球、黄韬、汤萍、吴禹强、何经余、李景升、赵银风、施施、陈艳珊、杨俊豪、方华、辛伶、杜雨桐、黄辉、李建浩、王祥科、张金波、李明、宫兵、张朋越、赵洁、杨扬仲夫、任希辉、何波、 王新喜、刘光宇、吕磊、李庭辉、郑秋艳、膝鑫胜、孙福楠、常侠、牛迪、殷吴、王若雯、赵跃、王军锋、李安林、唐中伟、程化鹏、谈益强、尹乐乐、周鹏云、唐霞梅.
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：
-1993年首次发布为GB/T14602-1993，2009年第一次修订为GB/T14602-2009 2014年第二次修订时并入了GB/T244692009（电子工业用气体5N氯化氢>的内容；2003年首次发布为GB/T18994-2003.2014年第一次修订为GB/T18994-2014；1999年首次发布为GB/T17874-1999，2010年第一次修订为GB/T17874-2010.2021年第 二次修订为GB/T17874-2021；2010年首次发布为GB/T26251-2010；本次为第三次修订，将GB/T14603-2009、GB/T14602-2014、GB/T18994-2014、GB/T 17874-2021、GB/T26251-2010整合修订.
电子气体卤化物气体
1范围
装、运输及贮存要求并提供了安全信息. 本文件规定了卤化物气体的技术要求，描述了相应的试验方法，还规定了采样、检验规则、标志、包
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T4844纯氮、高纯氮和超纯氮 GB190危险货物包装标志GB/T5099（部分）钢质无缝气瓶GB/T7144气瓶颜色标志 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法GB/T8979纯氮、高纯氮和超纯氮GB/T8984气体分析气体中微量一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物含量的测定火焰离子化气相色谱法 GB/T11640铝合金无缝气瓶GB/T14193液化气体气瓶充装规定GB15258化学品安全标签编写规定GB/T16804气瓶警示标签 GB/T28726气体分析氮离子化气相色谱法GB/T33145大容积钢质无缝气瓶GB/T43306气体分析采样导则 TSG07特种设备生产和充装单位许可规则TSG23气瓶安全技术规程TSGR0005移动式压力容器安全技术监察规程
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件，
3. 1
卤化物气体halide gas
包括三氟化硼、氯化氢、高纯氯、三氯化硼、三氟化氯、氟氮混合气、澳化氢.
