中华人民共和国国家标准
GB/T26028-2010
铝蒸发料
Evaporated aluminum material
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布
前言
本标准由全国有色金属标准化技术委员（SAC/TC243）归口.本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草. 本标准主要起草人：尚再艳、王永辉、王鹏、杨永刚、熊晓东、江轩.
铝蒸发料
1范围
本标准规定了铝蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单（或合同）内容，
本标准适用于半导体行业用的各类铝燕发料，其他用途的铝蒸发料也可参照使用.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T15077贵金属及其合金材料儿何尺寸测量方法
3要求
3.1产品分类
铝蒸发料的类型按铝的纯度分为IC-A199.999和IC-A199.9995两种. 铝蒸发料形状主要分为片状和柱状两种，如图1所示.
图1铝蒸发料示意图
3.2成分要求
铝蒸发料的化学成分要求见表1.
表1铝蒸发料的化学成分
号 IC-AI99 999 IC-AI99 9995AI含量不小于 666 ′66 9666*66AsAg-Au.B.Be Ca、Ce Cr Cs、Cu、Fe K、1i、 Mg、Mn、 Na Ni P 、Sb Si Sn、Th、必检杂质元素 Ti U V Zr Zn0 001 0 000 5杂质总含量不大于 其中;KNaLi;≤0 000 1 其中;KNaLi;≤0.00 1注1：铝的含量为100%减去表中杂质元累实测总和的余量.注2：顾客对某种特定杂质元索含量有要求的，由供需双方协商确认.
铝蒸发料的非金属元素含量（%）要求如下： C：≤0.002 0、C1:≤0.000 4、N：≤≤0.001 0、O:≤0.003 0、H:≤0.000 1、S:≤0.001 0
3.3供货状态
铝蒸发料以加工态供货.
3.4几何尺寸
铝蒸发料的规格及允许偏差如表2所示.
表2铝蒸发料规格
片状 柱状项 目 A B C R D L10 10 2 1 3 6尺寸/mm 15 15 2 1.5 6 67 20允许偏差/mm ±0.5 ±0.5 ±0.2 ±1 ±1注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的铝蒸发料.
3.5外观质量
铝蒸发料表面应光亮平整、洁净，边、角完整，无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷：应清洁、无油污和锈蚀：应无颗粒附加物和其他沾污.
4试验方法
4.1铝蒸发料的金属杂质、CI含量采用辉光放电质谱（GDMS）检测.非金属杂质元素C、N、O、H、S2
的分析方法由供需双方协商决定.
4.2铝蒸发料儿何尺寸的测量按GB/T15077规定进行.客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来样检查验收.4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别.
5检验规则
5.1检查和验收
5.1.1铝蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书.
5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准（或订货合同）的规定不符 时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决.如需仲裁，仲裁取样由供需双方共同进行，
5.2组批
铝蒸发料应成批提交检验，每批应由同一炉次、牌号和规格的产品组成.
5.3检验项目、取样位置和取样数量
取样位置和取样数量按表3的规定进行.
表3检验项目、取样位置及数量
检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 检验方法的章条号化学成分 熔练留样 每炉1个 3 2 4. 1按GB2828.1标准取 S-1 R 寸 成品随机取样 AQL-1.5 抽取样品 3 4 4.2表面质量 成品随机取样 按 GB 2828.1 标准取 S-1 AQ1.-1.5 抽取样品 3 5 4.3包装质量 逐件 6.2.1 4. 4
5.4检验结果判定
5.4.1化学成分不合格时，重新取双倍样进行重复试验，若检验合格，判该炉铸锭成分合格，若仍有不合格，则判该炉铸锭不合格.5.4.2尺寸不合格时，判该批产品不合格.
5.4.3外观质量不合格时，判该批产品不合格.
