中华人民共和国国家标准
GB/T26032-2010
镍蒸发料
Evaporated nickel material
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布
前言
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口.本标准主要起草人：尚再艳、雷继峰、朱晓光、杨永刚、班立志、熊晓东、江轩. 本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草.
镍蒸发料
1范围
本标准规定了镍蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及质量证明书与订货单（或合同）内容.
本标准适用于半导体行业用的各类镍蒸发料.其他用途的镍蒸发料也可参照使用.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T8647.9镍化学分析方法碳量的测定高频感应炉燃烧红外吸收法 GB/T8647.8镍化学分析方法硫量的测定高频感应炉燃烧红外吸收法GB/T15077贵金属及其合金材料儿何尺寸测量方法GB/T26016-2010高纯镍
3要求
3.1产品分类
镍蒸发料形状主要分为片状和柱状两种，如图1所示. 镍蒸发料的类型按镍的纯度分为IC-Ni99.99和IC-Ni99.995两种.
图1镍蒸发料示意图
3.2化学成分要求
3.2.1镍蒸发料的化学成分要求见表1.
表1镍蒸发料化学成分要求
牌 号 IC-Ni99 99 IC-Ni99 995Ni含量不小于/% 99 99 99 995Na K 0 05 0.5 0 05 0.5Li 0 01 0 01Be 0 01 0.01Mg 10Ca Mn 0 05 10 0 05 0.1Fe 20 2020 20n 20 20Zn 0.1 0.1杂质含量/（×10-），不大于 P A1 0 05 10 0 05 53 0.1s 3 0 1Pb 3 1Bi B 20 3 0 05 0 1As 5 5si 50 10P 0 1Ti 20 20Cr V 20 20 20 20杂质总量/（×10），不大于 100 50注1：镍的含量为100%减去表中杂质元素实测总和的余量：注2：顾客对某种特定杂质元索含量有要求的，由供需双方协商确认.
3.2.2镍蒸发料的非金属元素含量要求见表2.
表2镍蒸发料非金属元素含量要求
牌 号 IC-Ni99 99 IC-Ni99 995c H 100 10 50 10非金属元素含量/（×10-）.不 20 10大于 0 100 5010 10
3.3供货状态
镍蒸发料以加工态供货.
3.4几何尺寸
镍蒸发料的规格及允许偏差如表3所示.
表3镍蒸发料规格
片状 柱状A B c R D L尺寸/mm 10 15 10 15 2 2 1.5 1 3 6 6 67 20允许编差/mm ±0.5 ±0 5 ±0 2 ±0 2 ±0.5注：经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的镍蒸发料.
3.5外观质量
镍蒸发料表面应光亮平整、洁净，边、角完整，无飞边、无毛刺、无夹杂、无裂纹等缺陷：应清洁、无油污和锈蚀：应无颗粒附加物和其他沾污.
4试验方法
4.1镍燕发料的杂质含量参考GB/T26016-2010附录A采用辉光放电质谱（GDMS）进行检测：非金属杂质元素S的含量参考GB/T8647.8进行检测：非金属杂质元素C的含量分别参考GB/T8647.9进行检测：非金属杂质元素N、O、H的分析方法由供需双方协商决定.
4.2镍蒸发料几何尺寸的测量按GB/T15077规定进行.客户特别要求，可按技术协议或按需方图 纸、来样检查.
4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别.
5检验规则
5.1检查和验收
5.1.1镍蒸发料由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书.
5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准（或订货合同）的规定不符时，应在收到产品之日起3个月内向供方提出，由供需双方协商解决.如需仲裁，仲裁取样由供需双方共同进行，
5.2组批
镍蒸发料应成批提交检验.每批应由同一投料批、规格和牌号的产品组成.
