中华人民共和国国家标准
GB/T26312-2010
蒸发金
Gold for evaporating
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布
前言
本标准由中国有色金属工业协会提出.
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口.
本标准起草单位：北京达博有色金属焊料有限责任公司、贺利氏招远贵金属材料有限公司、贺利氏招远（常熟）电子材料有限公司、北京有研亿金新材料股份有限公司.
本标准主要起草人：杜连民、向翠华、禹洁丽、房晋、周晓光、毛松林、王卫东、付建彬、目琳.
蒸发金
1范围
本标准规定了蒸发金的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存.本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金.
2规范性引用文件
件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
GB/T11066（部分）金化学分析方法GB/T15077贵金属及其合金材料儿何尺寸测量方法GB/T25934（部分）高纯金化学分析方法
3要求
3.1产品分类
3.1.2蒸发金产品主要以片状、柱状和线盘状为主，产品形状及供货状态应满足表1的要求.需方有其他要求时由供需双方协商解决.
3.1.1蒸发金产品按化学成分分为Z-Au99.999和Z-Au99.99两种牌号.
表1
形状 定义 供货状态柱状 直径为0.5mm~8mm、长度为2mm~100mm的线材片状 长为 5mm~20 mm 宽为 5mm~ 20mm、厚为 0 5 mm~3 mm的片材 硬态线盘状 直径为0.5mm~2mm 重量在10g~500g的线材盘成线盘状为主，线盘直径一般为100mm~300mm
3.2产品标记示例
3.2.1柱状蒸发金标记
示例：直径为5mm长度为20mm、成分为99.999%的柱状蒸发金产品标记为：Z-Au99.999.5×20mm
3.2.2蒸发金片状产品标记
示例：长为 10mm 宽为 10mm、厚为 2mm的片状蒸发金产品标记为：Z-Au 99 999 10×10×2 mm
3.2.3蒸发金线盘状产品标记
3.3化学成分
产品化学成分应符合表2的要求，其中金质量分数为100%减去表中规定的杂质实测值的总和而得.需方对某种特定杂质元素含量有要求的，按供需双方协商进行.
表2
Au/% 杂质含量（质量分数）/%，不大于牌号 不小于 Ag Cu Fe Pb Bi Sb s MnZ- Au 99 999 ≥99 999 0 000 5 0 000 1 0 000 2 0 000 1 0 000 1 0. 000 1 0 000 2 0 000 1Z-Au 99 99 99. 99 0 005 0 002 0 002 0 001 0 002 0 001 0 005 0 000 3牌号 Au/% 不小于 Pd Mg 杂质含量（质量分数）/%，不大于 As Sn Cr N 总量Z-Au 99. 999 99 999 0 000 1 0 000 2 0 000 1 0 000 1 0. 000 1 0 000 1 0 01Z-Au 99 99 99.99 0 005 0 003 0 003 0 001 0. 000 3 0 000 3 0.1
3.4尺寸及允许偏差
3.4.1产品形状如图1所示.片状产品尺寸及允许偏差应符合表3的要求：柱状产品的尺寸及允许偏 差应符合表4和表5的要求：线盘状产品的长度偏差及线盘的直径不做要求，以需方要求的每盘重量范围为主协商解决.
图1蒸发金产品图
表3
单位为毫米
示意尺寸 A B c允许偏差 ±1 1干 ±0 2
表4
单位为毫米
直 径 允许偏差>0. 10 ±0.01>1 00 ±0.08>3 0 ±0 08>5.0 ±0 09≥6 0 ±0 09>7 0 ±0.1≥8 0 ±0 1
表5长度允许偏差
单位为毫米
定尺长度 允许偏差10 ±2 0
3.4.2供需双方可协商生产其他规格产品，需方如有其他要求在合同中注明.
3.5外观质量
3.5.2蒸发金产品表面应无颗粒附加物和其他沾污.3.5.3蒸发金产品表面允许有个别的、深度不超出直径允许偏差的凹坑和划痕等缺陷.
3.5.1蒸发金产品表面应清洁，不应有拉伸润滑痕迹、油污、黑斑、锈蚀、裂纹、分层、凸起、毛剩等缺陷.
3.5.4蒸发金产品的端部允许有轻微的铸、冲、剪等痕迹.
3.6内部组织
蒸发金的内部质量由供方的生产工艺保证，内部不应有疏松、夹杂、气孔等缺陷.
4试验方法
4.1Z-Au99.999蒸发金的化学成分仲裁分析方法按GB/T 25934的规定进行.Z-Au99.99蒸发金 的化学成分钟裁分析按GB/T11066的规定进行.
4.2产品尺寸测量按GB/T15077的规定进行.
4.3外观质量检验采用目视进行，必要时可采用放大镜或（10～25）倍双目显微镜检查.
