中华人民共和国国家标准
GB/T 15394-2026代替GB/T15394-1994
多探针测试台通用技术条件
General specification for probe tester
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
本文件代替GB/T15394-1994《多探针测试台通用技术条件》，与GB/T15394-1994相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
a）更改了术语和定文（见第3章，1994年版的第3章）；b）更改了技术要求（见第5章，1994年版的5.1.4、5.2、5.2.1、5.2.2、5.3.2、5.4.1、5.4.2、5.4.3、5.4.4、5.5.1、5.5.2、5.5.3、5.5.4、5.6、5.7、5.8、5.9、5.9.2、5.11、5.12、5.14、5.15、5.16);c）增加了电磁兼容性要求（见5.17）： d）更改了试验方法（见第6章，1994年版的6.3、6.4.1、6.4.2、6.4.3、6.4.4、6.5.1、6.6、6.7、6.8、6.9.2、 6 10.1、6.10.2、6.10.3、6.11) ;e）更改了检验规则（见第7章，1994年版的7.1、7.2.2）；f）更改了标志、包装、运输和贮存（见第8章，1994年版的8.1.2、8.2.3、8.3）.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任，
本文件由中华人民共和国工业和信息化部提出并归口.
本文件起草单位：三河建华高科有限责任公司、中国电子科技集团公司第45研究所、中国电子技术标准化研究院、北京工业大学、燕山大学、昆山迈致治具科技有限公司、雯润新（上海）半导体科技有限公司、矽电半导体设备（深圳）股份有限公司、多场低温科技（北京）有限公司.
华长春、王超、史泽远、邢莹、李扬、吴浩、张宝帅、宋子凯、王胜利、雷迪、吴贵阳、申世鹏. 本文件主要起草人：段成龙、杨晓静、曹可慰、刘海滨、赵俊莎、吕磊、王伟、吴怡然、周豪、宋伟峰、
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：
1994年首次发布为GB/T153941994；
本次为第一次修订.
多探针测试台通用技术条件
1范围
本文件界定了多探针测试台（以下简称”探针台”的术语和定义，规定了技术要求、检验规则、标志、包装、运输和贮存等要求，描述了相应的试验方法.
本文件适用于手动、半自动、全自动多探针测试台的设计、生产、检验和验收.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 本文件.
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3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件.
多探针测试台probe tester
利用金属探针将晶圆片上芯片的电极与测试仪（表）联接，以完成芯片电参数测试环节的设备.
手动多探针测试台manualprobe tester
芯片或晶圆测试操作步骤由人工完成的探针台.
能自动完成除晶圆加载、传输及预对准功能之外的其他探测步骤的探针台.
能自动完成包括图像识别、自动对准及晶圆传输、预对准等基本功能在内的探测步骤，并具有
