国际标准 ISO 14644-13:2026(en)
洁净室及相关受控环境——第13部分：为达到颗粒和化学浓度方面规定的洁净度等级而进行的表面清洁
第二版 2026-02
本文件由技术委员会 ISO/TC 209（洁净室及相关受控环境）编制，并依据 ISO 与 CEN 之间的技术合作协定（即“维也纳协定”），与 CEN/TC 243（洁净室技术）进行了协作。
本第二版废止并取代第一版（ISO 14644-13:2017），是对第一版进行的微小修订。具体变更如下：
——术语“等级”（class，包括分类及已分类等形式）在适当时已更改为“水平”（levels）或“评定”（assessment）；
——进行了细微的编辑性修改；
——删除了未在本文件中引用的参考文献。
目录
页码 | 前言 | 引言 | vi | v | 1 范围 | 1 | 2 规范性引用文件 | 2 | 3 术语和定义 | 2 | 4 通用方法论 | 4.1 概述 | 3 | 4.2 方法论 | 4 | 5 对象描述 | 5 | 6 洁净度规范 | 6 | 7 初始污染水平的测定 | 7.1 概述 | 6 | 7.2 针对颗粒浓度的初始污染水平测定 | 7.3 针对化学浓度的初始污染水平测定 | 7 | 8 其他要求 | 7 | 9 清洁方法论的选择 | 9.1 选择程序 | 7 | 9.2 清洁方法论 | 9.2.1 清洁方法 | 9.2.2 清洁过程 | 9.3 清洁技术分类 | 8 | 10 材料相容性检查 | 8 | 11 清洁验证 | 11.1 概述 | 8 | 11.2 清洁效率 | 11.2.2 针对颗粒浓度的清洁效率 | 11.2.1 评估。11.2.3 关于化学污染的清洁效率。11.3 清洁适宜性。11.3.1 评定。11.3.3 关于化学浓度的清洁适宜性。11.3.2 关于颗粒物浓度的清洁适宜性。12 测量方法。12.1 总则。12.2 12.2.1 直接测量方法——总则。12.2.3 关于化学污染物（SCC）的直接测量方法。12.2.2 关于颗粒污染物（SCP）的直接测量方法。12.3 间接测量方法。12.3.1 总则。12.3.2 关于颗粒污染物（SCP）的间接测量方法。12.3.3 关于化学污染物（SCC）的间接测量方法。13 文件记录。15 附录 A（资料性附录） 清洁的相关方面。附录 B（资料性附录） 清洁方法。附录 C（资料性附录） 材料与清洁剂的相容性。附录 D（资料性附录） 清洁度测量。
