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NFPA 318,NFPA 318 无尘室,中文版,无尘室防护标准,NFPA-318（简体中文版）无尘室防护标准

内容摘抄：

NFPA318
无尘室防护标准
(Standard for the Protection of Cleanrooms;1995 Edition)

第一章 概述
1.1范围
此标准适用于所有本篇所定义之无尘室及洁净区之半导体厂。
1.2目的
本标准旨在提供无尘室避免火灾及相关危害合理的安全防护,而这些防护措施可避免或减少 人员及财产之损害。
1.3应用
此标准所考虑是以合理的预防火灾及爆炸,避免造成人员伤亡及财产之损害,此时所需考虑之 环境状况及活动状态为本标准所讨论之重点;除非其它地方有所规范,否则本标准不用于要求已经安装完成设备除非在该状态下已造成生命危害或邻进近地区之财产损失。
1.4名词定义
§高架地板系统(Access Floor System)
配电盘架设于基座上以提供地面下空间供安装机械通讯或作为供风或回风空间。
§管辖权(Authority Having Jurisdiction)
组织部门或个人负责对设备安装或制程之认可,在NFPA, 管辖权会随区域有所变化,可能是联邦,州,地区或地区部门,或个人可能是消防首长,副首长,州消防局长机动小组或卫生局营建部门及其它经法律授权的单位。
保险公司亦有检查权,原设计或拥有者亦有此权利。

§洁净区(Clean Zone)
定义为区间内之空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内。

§无尘室(Clean Room)
定义为房间内之空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内。

§压缩气体(Compressed Gas)
于容器中之任何气体或混合气体其在70OF(21.1℃)时,绝对压力大于40psi(275.8Kpa);或在
70 OF时绝对压力小于40psi,但在130OF(54.4℃)时其压力大于104psi;或易燃性气体在100 OF
(37.8℃)时,其蒸气压大于40psi称为压缩气体。

§爆炸(Explosion)
气体体积突然的扩增,可能为化学性质(如氧化)的改变或物理性质(压力筒破裂)的变化。

§易燃性蒸气(Flammable Vapors)
易燃性物质之蒸气在空气中的蒸气浓度大于其最低燃烧限制(LFL)的10%称为易燃性蒸气。

§危害性化学品(Hazardous Chemical)
任何固液气体其具有深度危害健康等级、易燃性及反应性经NFPA704(Standard System for the Identification of the Fire Hazards of Materials)评定为Class 3,4者称为危害性化学品。

§接口(Interface)
数个独立系统会合于此,并经此互相运作或联络。

§互锁(Interlock)
当机器操作一动作时会自动引起其它动作或暂停执行其它动作。

§液体(Liquid)
可燃性液体(Combustible Liquid)
液体之闪点大(等)于100 OF可分为以下几类：
(1) Class II Liquids：闪点介于100 OF和140 OF之间
(2)Class IIIA Liquids：闪点介于140 OF和200 OF之间
(3)Class IIIB Liquids：闪点大于200 OF

易燃性液体(Flammable Liquids)
为Class I Liquids,闪点低于100 OF,且在100 OF时蒸气压小于40psi,可分为以下几类：
(1) Class IA Liquids,闪点低于73 OF,沸点低于100 OF
(2) Class IB Liquids,闪点低于73 OF,沸点高于100 OF
(3) Class IC Liquids,闪点介于73 OF ~100 OF之间

§检验合格(Listed)
设备或材质经具管辖权的单位评估认可。

§非可燃物(Noncombustible)
通过ASTME136(Standard Test Method for Behavior of Materials in a Vertical Tube Furnace at 750 Degrees C)测试通过,于正常状况下以火焰或高温测试不会自燃,助燃或释放可燃性蒸气者称之为非可燃物。

§传递窗(Pass-through)
在墙边做一密闭围篱(enclosure)两边开门用以传送化学品材料设备。

§自燃物(Pyrophoric)
在空气中其自燃温度低于130 OF(54.4℃)之化学物质。

§限制流量的节流器(Restricted Flow Orifice)
在气体钢瓶阀体限制最大流率在30 L/min(1.06 ft3/min)。

§烟雾(Smoke)
当物质和空气进行高温分解或燃烧所产生传播于空气中的固体及液体粒子和空气的混合物。

§待机模式(Standyby Mode)
当易燃之气体或液体因受热产生危险而将电源关闭(除了控制电源外)之模式称为待机模式。

§非当事双方之顾问(Third Party)
为一专业并受过训练合格有经验之人士能针对制程设备依标准进行危害分析。

§工具(Tools)
在无尘室中使用之机件,储存容器,工作站或制程设备。

§工作站(Work Station)
在无尘室中使用危害性化学物品的特定空间,或独立设备配置有抽风设备、火灾保护设备、气体及其它危害物的侦测器电力装置及其它制程设备。

第二章 火灾之保护
2-1自动灭火系统(Automatic Fire Extinguishing System)
2-1.1概述
在无尘室及无尘区需装设自动撒水系统。

2-1.2自动撒水系统(Automatic Sprinkler system)
2-1.2.1无尘室或无尘区之自动撒水系统依NFPA13,Standard for the Installation of Sprinkler
System安装,若设计面积大于3000ft2 (278.8m2),水力设计之密度为0.2gpm/ft2 (8.15
Lpm/m2) 设计。

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FM 7-7,FM标准,FM规范,FM Global Property Losss Prevention Data Sheets 7-7R -2003

内容索引（翻译后）：

1.0 范围 3
2.0 支持建议 3
2.1 过程危害 3
2.1.1 气体（一般） 3
2.1.1.1 硅烷 6
2.1.1.2 二氯硅烷 6
2.1.1.3 三氯硅烷 6
2.1.1.4 三氟化氯 6
2.1.1.5 氢气 7
2.1.2 光刻胶、显影液和冲洗液 7
2.1.3 塑料湿凳 8
2.1.4 塑料管道系统 8
2.1.5 真空泵 9
2.1.6 离子注入器 10
2.1.6.1 离子注入器高压直流电源 10
2.1.6.2 离子注入器隔离变压器 10
2.1.6.3 离子注入器——美国国家电气规范 (NEC) 对变压器的要求 11
2.1.6.4 美国变压器国家标准-C57.12.22-1989 11
2.1.6.5 离子注入机损失经验 12
2.1.7 扩散 12
2.1.8 溢出危险 12
2.2 湿凳的火灾隐患 13
2.2.1 FM Approvals 在湿台上进行的防火测试 13
2.3 FM Approvals 洁净室材料可燃性测试协议（4910 级） 14
2.4 FM 批准的管道系统 14
2.5 堆垛机的火灾隐患 15
2.6 硅烷气体 15
2.7 电气暴露 16
2.8 去离子 (DI) 水系统 16
3.0 流程概述 16
3.1 废气处理系统 21
3.2 洁净室概述 21
3.3 处理工具 24
3.3.1 化学机械抛光 25
3.3.2 酒精蒸汽干燥机 25
3.3.3 再处理器 25
3.3.4 微型环境外壳 25
3.3.5 真空泵 26
3.4 大宗化学品分布 26
3.5 液体损坏暴露 26
3.6 防盗保护 27
3.7 不间断电源概述 28
4.0 其他适用的规范和标准 28
4.1 美国建筑规范 28
4.2 NFPA 318 29
4.3 半 S-2 29
4.4 国际规范 30
4.5 ISO 国际洁净室标准 31
4.5.1 ISO 14644-1 空气洁净度分类 32
5.0 半导体术语 33
6.0 参考书目 38
图列表
图 1. 工艺气体分配装置 4
图 2. 湿台自由燃烧试验 13
图 3. 半导体制造流程图 17
图 4. 半导体制造设施系统图 . 18
图 5. 清洁区服务通道 . 22
图 6. 工具服务走廊 . 23
图 7. 湿式工作台和相关排烟管道的各种布置 24
表列表
表 1. 制造 5 中使用的气体
表 2. 硅烷混合物 6
表 3. 制造中使用的易燃和可燃液体 8
表 4. 过程反应 9
表 5. 制造中使用的真空应用 10
表 6. 材料命名和使用 14
表 7. 常见的非易燃半导体工艺液体 26
表 8. 可能的水害源 27
表 9. 洁净室和洁净区的选定空气悬浮颗粒洁净室等级
由 ISO 14644-1 32 定义
表 10. 不同洁净室等级标准之间的比较 32

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建筑装饰装修工程计价的热点问题 - 广西建设工程造价站,《建筑装饰装修工程计价的热点问题》广西建设工程造价站培训PPT课件

建筑装饰装修工程计价常见问题
1.当前建筑工地的几个系统费用计算问题
①现场监控系统
②门进系统（桂建通）
③智慧工地系统
④喷淋系统
扬尘治理与安全文明施工措施问题。根据《自治区住房城乡建设厅关于印发2017年全区建筑施工扬尘治理专项方案的通知》（桂建管[2017]23号）文件精神，现建筑工地均已开展施工扬尘专项治理工作，该项工作的费用是否包含在安全文明施工费中？如不包含在内，该项费用应如何计价？
处理意见：安全文明施工费中未包括建筑工地施工扬尘专项治理费用，该费用应由建设单位承担。在计算规定未出台之前，应由发承包单位根据实际发生另签补充协议或办理签证处理。

目前，我们正在收集有关建筑工地施工扬尘专项治理费用的资料，但离散性比较大，占工程造价的比例有1%、1.5%、2%、3%等都有，很多单位按一次性计算，未考虑摊销。
建筑市场的经营模式：建筑工地施工扬尘专项治理有租用设备、直接购买设备、购买第三方服务等3种模式，一般由施工单位负责维护和管理。费用占造价的比例高低不一，小工程比例高一点，大工程，比例低一点，按比例计算不是很准确。
建议把设备费和营运维护费分开计算。
（1）设备费
①自购：按费用摊销计算
②租赁：按租赁合同计算
③购买服务：按服务合同和内容计算
（2）营运维护费：按实际发生办理签证
①人工费
②水电费
③维修材料费
下一步条件成熟后，把它列入安全文明施工费计算

2.安全文明施工费计算
（1）安全文明施工费费率区域划分规定
桂造价[2019]32号《关于明确建筑装饰装修工程安全文明施工费区域划分的通知》 “安全文明施工费费率表”中的“市区”、“城（镇）”、“其他”的划分规定
①“市区”是指国务院批准设市建制的城市，经自治区人民政府批准的市辖区（含市郊）的区域范围，市辖区人民政府驻地的城区建设已延伸到周边建制镇（乡）的部分区域，其市区应包括该建制镇（乡）的全部行政区域。
②“城（镇）”是指经自治区人民政府批准的县城、县属镇(区级镇、乡)，范围按县人民政府批准的县城、镇（乡）的区域范围，即县城、镇（乡）人民政府驻地和镇（乡）辖其他居委会地域，镇人民政府驻地建设已延伸到周边村民委员会的驻地，其镇区应包括该周边村民委员会的全部区域。
③“其他”是指在“市区”、“城（镇）”范围以外的地区。

（2）安全文明施工费计费单位及其划分
安全文明施工费按单位工程（不同档次面积的费率不同）计费。城市综合体地下室几层为停车场、裙楼几层为商场、转换层以上为几栋塔楼（住宅或写字楼），如何划分单位工程？
处理意见：安全文明施工费应按各单位工程的建筑面积相对应的费率计取。单位工程是指具备独立施工条件并能形成独立使用功能的工程；对于建筑规模较大的单位工程，可将其能形成独立使用功能的部分作为一个子单位工程。
①可以分地下室几层为停车场为1个单位工程、裙楼几层为商场为1个单位工程，转换层以上为几栋塔楼（住宅或写字楼）每一栋为1个单位工程。具体以定额解答为准。
②没有办法计算面积的可以参照单独承包土石方工程的费率计算。

3.建筑垃圾外运费及其消纳费如何计算？
处理意见：
⑴费用范围
①建筑垃圾外运费：定额计价中已包括将建筑垃圾清运到建筑物周边2m以外的施工现场费用；未包括将建筑垃圾从施工现场再运至弃置地点的运费及其消纳费用。
②建筑垃圾消纳费：定额中未包括建筑垃圾消纳费，
⑵费用计算
若合同文件中无约定，建筑垃圾外运费及其消纳费由发包方承担，具体按以下方法处理：
①由发承包双方根据实际情况办理签证计价；
②由发包方、承包方、消纳场签订三方协议，按协议计价；
③由发包方和消纳场签订协议，按协议计价；

4.建筑安装工程劳动保险费（或养老保险费）计算。
（1）05定额和08清单：
《08清单计价规范广西实施细则》招标控制价、投标报价、合同价、竣工结算价均不含养老保险费，结算时养老保险费差额部分能不能列入合同价中结算？如何执行（桂政发字〔2019〕20号）文？
处理意见：因合同价中未包括养老保险，所以养老保险及其差值不能列入结算价中结算。处理方法如下：
①在工程审定书中注明：建筑安装工程总造价为XXXX，其中：合同价为XXX,养老保险费为XXX(已交部分为XX，未交差额部分为XX）。
②按（桂政发字〔2019〕20号）的规定，由发承包双方办理结算。

（2）13定额13清单规定
（桂政发〔2019〕20号）和桂造价[2019]13号
建安劳保费（含应缴未缴）不再上缴各级建安劳保费管理机构、财政部门，由项目建设单位按照有关规定直接支付给建筑施工企业。
广西壮族自治区人民政府关于 停止统一收取建筑安装工程劳动保险费的通知 （桂政发〔2019〕20号）
各市、县人民政府，自治区人民政府各组成部门、各直属机构：
为贯彻落实好“放管服”改革的要求，不断优化营商环境，自治区人民政府决定，在我区行政区域范围内停止统一收取建筑安装工程劳动保险费（以下称建安劳保费）。停止统一收取后，建安劳保费（含应缴未缴）不再上缴各级建安劳保费管理机构、财政部门，由项目建设单位按照有关规定直接支付给建筑施工企业，建筑施工企业须按照有关规定足额向社会保险费征收机构缴纳社会保险费。全区各级住房城乡建设、财政、人力资源社会保障等部门要做好有关政策和具体工作的衔接，切实保障企业人员的合法权益。
本通知自印发之日起实施。
广西壮族自治区人民政府
2019年4月28日

关于调整建筑安装工程劳动保险费有关规定的通知
桂造价[2019]13号
各有关单位：
根据《广西壮族自治区人民政府关于停止统一收取建筑安装工程劳动保险费的通知》（桂政发（2019）20号），现对我区建筑安装工程劳动保险费有关计费规定作如下调整:
一、2016年《广西壮族自治区建设工程费用定额》及2017年《广西壮族自治区市政设施养护维修工程消耗量及费用定额》中删除“社会保险费中已包含建筑安装工程劳动保险费（以下简称“建安劳保费”），住房和城乡建设主管部门建筑安装工程劳动保险机构按有关规定管理建安劳保费，发包人和承包人应按本费用定额规定计价。拨付工程进度款时，按已缴纳的建安劳保费的相应比例扣除，竣工结算时扣完已缴纳的建安劳保费”的规定。
二、《自治区住房城乡建设厅关于建筑业实施营业税改增值税后广西壮族自治区建设工程计价依据调整的通知》（桂建标[2016]17号）中删除“社会保险费中已包含建筑安装工程劳动保险费（以下简称“建安劳保费”），住房城乡建设主管部门建筑安装工程劳动保险机构按有关规定管理建安劳保费，发包人和承包人应按《2016费用定额》规定计价。拨付工程进度款时，按已缴纳的建安劳保费的相应比例扣除，竣工结算时扣完已缴纳的建安劳保费”及“建安劳保费已包含在社会保险费中”的规定。
西建设工程造价管理总站
2019年5月13日

5.发生合同工程工期延误的，工期延误材料价格如何调整？
处理意见：
⑴因发包人原因导致工期延误的，则计划进度日期后续工程的价格，采用计划进度日期与实际进度日期两者的较高者；
⑵因承包人原因导致工期延误的，则计划进度日期后续工程的价格，采用计划进度日期与实际进度日期两者的较低者。
6.合同约定材料调差的价格按施工期间当地信息价的平均价计算，未约定按算术平均还是加权平均时，应如何计算？
处理意见:应按加权平均值计算。
7.交叉施工补贴如何计算？总承包工程，施工过程中总分包的交叉施工能否计算交叉施工补贴？
处理意见：交叉施工：是指建筑工程（包括装修和水电安装）与设备安装工程交叉施工，交叉部分内容须办理签证确定。总承包与分包、总承包内部（建筑、装饰、水电安装等）交叉应由承包商在施工组织管理中处理，不得另计。
适用施工总承包工程，不适用EPC工程总承包

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问题专业：土建 概算 预算 结算 审核

所属地区：广东

提问日期：2022-05-28 17:29:51

提问网友：黑布林

大佬们请问基础垫层用面型、线型、点式 怎么看呢？土建,审核,广东,概算,结算,预算,答疑：大佬们请教基础垫层用面型、线型、点式 如何看呢？-广东

解答网友：GXZ

根据你的需要选择，点式适用于独基和承台；线式适用 于条基、基础梁、螺旋板和地沟；面式适用于独基、承台、集水坑、下柱墩、后浇带、筏板基础和坡道

问题专业：土建 土建计量GTJ

所属地区：江苏

提问日期：2022-05-28 17:16:18

提问网友：燃犀照夜.

如图，像这种匝道的钢筋，底板、墙、顶板钢筋是一个整体的怎么做比较好土建,土建计量GTJ,江苏,答疑：匝道里这种钢筋如何布置-江苏

2022-05-28 17:21:54 补充

意思就是想把钢筋像图纸上做成整体，只在两边墙上做搭接怎么做

解答网友：GXZ

底板用筏板基础或板定义布置，墙就是用剪力墙定义布置，顶板用板定义布置

问题专业：土建 安装 装饰 市政 公路

所属地区：广东

提问日期：2022-05-28 17:15:13

提问网友：我是阿阿鋒

各位同行老师专家能否把你们的 联系单，变更单，签证单的样本含内容的截图分享大家学习。看看大家习惯的风格。

2022-05-28 17:20:13 补充

这是我的公路,土建,安装,市政,广东,装饰,答疑：各位同行大家专家能否把你们的 联系单，变更单，签证单的样本含内容截图分享大家学习-广东

2022-05-28 17:21:05 补充

公路,土建,安装,市政,广东,装饰,答疑：各位同行大家专家能否把你们的 联系单，变更单，签证单的样本含内容截图分享大家学习-广东

解答网友：冰临城下

都不一样的，建议根据建设单位要求

施工现场风险源分级与防范措施一览表,施工现场风险源分级与防范措施一览表

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问题专业：市政 预算 计价软件GCCP

所属地区：广东

提问日期：2022-05-28 13:07:36

提问网友：⁡⁢⁡⁣⁣我什么都不懂

是不是普通路边绿化带侧2m宽的人行道套用人行道砖定额，广场（大妈跳广场舞的地方）就套用人行道广场砖。可不可以这样理解市政,广东,计价软件GCCP,预算,答疑：请教人行道砖与人行道广场砖的区别？-广东市政,广东,计价软件GCCP,预算,答疑：请教人行道砖与人行道广场砖的区别？-广东

解答网友：小的大牛

你好，你说的这两个就是人行道的面砖的种类不同，有的是广场砖(就是那种方形带花纹砖)，有的是透水砖。至于你的截图，上面的是基层，下面的是面层。

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