中华人民共和国国家标准
GB/T36176-2018
Vacuum technologyVacuum leak testing method by helium mass spectrometer
中国国家标准化管理委员会 国家市场监督管理总局 发布
目次
前言1范...2规范性引用文件3术语和定义4一般要求4.1人员资格 4.2设备要求4.3氮气4.4环境要求5检漏方法5.1喷吹法5.2氮罩法 5.3压力-真空检漏法6检漏文件6.1检漏记录 116.2检漏报告 11附录A（规范性附录）检漏记录 12附录B（规范性附录）检漏报告
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.
本标准由中国机械工业联合会提出.
本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口.
本标准起草单位：北京卫星环境工程研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、宁波莱宝真空自动化技术有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、沈阳真空技术研究所.
本标准主要起草人：王勇、孟冬辉、孙立臣、目荣鑫、史纪军、黄文平、王国东、胡眉、任国华、孙伟、邵容平、陆鸣、张春元、窦仁超、言继春、王功发、言文静、彭光东、孙刚、孙威、景嘉荣、李斌、王玲玲.
真空技术氮质谱真空检漏方法
1范围
系统组成、检漏程序等方面的要求以及对检漏文件的要求. 本标准规定了氮质谱真空检漏方法实施的一般要求，三种常用的氮质谱真空检漏方法在应用对象、
本标准适用于各行业中采用氮质诺真空检漏方法的部件、组件、分系统级以及系统级产品.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T3163真空技术术语GB/T4844纯氮、高纯氨和超纯氮 GB/T9445无损检测人员资格鉴定与认证GB/T12604.7无损检测术语泄漏检测GB/T13979质谐检漏仪
3术语和定义
GB/T3163和GB/T12604.7界定的以及下列术语和定义适用于本文件.
3.1 等待时间waitingtime两次测试的间隔时间.
3.2检漏灵敏度leak testingsensitivityQan 在具体的工作条件下，检漏系统所能检出的最小漏孔漏率.
用喷枪喷出已知浓度的氮气束在被检件的表面扫描进行的氮质谱检漏方法.
3.4 氨罩法helium hoodmethod
将被检件部分或全部罩住，罩内充入已知浓度的氮气进行的氮质谱检漏方法.
3.5
压力-真空检漏法pressure-vacuum chambermethod
将充入氮气的被检件放人真空室内抽至规定的真空度，在压差作用下，氮气通过漏点进人真空室而被检漏仪测试的方法，
3.6
吸枪法sniffingprobe method
被检件充人一定压力的氮气，用与氮质谱检漏仪相连的吸枪噢探被检件表面漏出氮气的方法.
4一般要求
4.1人员资格
检漏人员应经相关的培训、考核后上岗，对于特殊行业，需满足GB/T9445中关于无损检测人员的要求.
4.2设备要求
设备要求如下：a）氮质谱检漏仪应满足GB/T13979规定的技术要求；b）检漏系统的检漏灵敏度应优于被检件允许漏率要求的十分之一.
4.3氮气
所用氮气应满足GB/T4844纯氮级的要求.
4.4环境要求
无特殊要求时，环境要求如下：
a）检漏工作场地温度为16℃~30℃，相对湿度不大于80%：b）检漏工作场地应清洁，通风良好：c）检漏工作场地附近应无强磁场干扰，无较大的振动.
5检漏方法
5.1喷吹法
喷欧法主要用于对被检件的漏点定位和定量.
5.1.2系统组成
喷吹法检漏系统的组成原理如图1、图2和图3所示.
