中国腐蚀与防护学会团体标准
T/CSCP 0059.5-2025
微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感 器
第5部分：电路设计及测试Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chipand sensorPart 5:Circuit design and testing
中国腐蚀与防护学会 发布
目 次
前言1范围.2规范性引用文件 53术语和定义. 54.设计要求 64.1通用设计原则 64.2电路模块设计.. 65.性能要求5.1电气性能5.2环境适应性 85.3可靠性 86.测试方法 96.1电气性能测试96.2环境适应性测试 106.3可靠性测试 II"附录A 12（资料性附录） 12测试记录表格. 12A.1电气性能测试记录表 12A.2环境适应性测试记录表. 12
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
0059-2025《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》已经发布了以下部分： 本文件是T/CSCP0059-2025《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》的第5部分.T/CSCP
一-第1部分：通用要求；一-第3部分：测试方法； 一第2部分：选材与评价；第4部分：元器件选型及测试；第5部分：电路设计及测试.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国腐蚀与防护学会提出.
本文件由中国腐蚀与防护学会归口.
广州天韵达新材料科技有限公司、国家材料腐蚀与防护科学数据中心、北京材料基因工程高精尖创新中 本文件起草单位：北京科技大学、中国电力科学研究院有限公司、南方电网科学研究院有限公司、心、广州市南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司.
孙雷、李清、徐迪、朱仁政、廖永力、杨国威、张达威、刘超、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张 本文件主要起草人：杨小佳、李晓刚、程学群、郝文魁、黄路逼、张强、卢壹梁、黄增浩、陈云、博威、骆鸿、韩钰、马宏驰.
本文件为首次发布.
引言
《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》涵盖了微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片（以下简称MEMS材料腐蚀芯片）及传感器的设计、选材、测试及芯片电路、元器件选型设计方法.目前，该标准由五个部分构成：
料腐蚀芯片及传感器的设计要求、选材要求、制造要求及测试要求. 一第2部分：选材与评价.目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器各部分材料的选材与评价方法，包括选材原则、常用材料类型及其性能指标、评价与验证方法.一一第3部分：测试方法.目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器测试方法，包括测试项目及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则. 一第4部分：元器件选型及测试.目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器的元器件选型及测试，包括元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存.一第5部分：电路设计及测试.目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器的电路设计及测试方法，包括电路设计要求、性能要求及测试方法.
一第1部分：通用要求.目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器通用要求，包括MEMS材
微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器第5部分：电路设计及测 试
1范围
本文件规定了微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，以下简称MEMS）材料腐蚀芯片及传感器电路设计要求、性能要求及测试方法.
本文件适用于各类MEMS材料腐蚀芯片及传感器的电路设计、验证测试及质量评价.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T24338.2轨道交通电磁兼容第2部分：整个轨道系统对外界的发射GB/T17626.2电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验GB/T17626.3电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验GB/T35010半导体芯片产品（部分）GB/T38341微机电系统（MEMS）技术MEMS器件的可靠性综合环境试验方法IEC 60050（部分）国际电工词汇表（International Electrotechnical Commission）
3术语和定义
IEC60050（部分）、GB/T35010（部分）界定的以及下列术语和定义适用于本文件.
3. 1
信号调理电路signalconditioningcircuit
对敏感元件输出的微弱、易受干扰的原始信号，进行放大、滤波、调制、解调等处理，以提升信号质量、增强信号稳定性和适配性的电路模块.
3. 2
数据采集电路signalconditioningcircuit
将模拟信号转换为数字信号，并按照设定的采样频率、分辨率进行采样、量化与编码，实现腐蚀监测数据数字化处理与存储的电路单元.
3.3
电源管理电路power managementcircuit
为MEMS腐蚀芯片及传感器电路提供稳定、高效电源供应的电路模块，具备电压转换、稳压、电
