ICS29.045 H83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30656-2014 碳化硅单晶抛光片 Polished monocrystalline silicon carbide wafers 2014-12-31发布 2015-09-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 0 电 中华人民共和国 国家标准 碳化硅单晶抛光片 GB/T30656-2014 中国标推出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号(100029) 北京市西城区三里河北街16号(100045) 网址.spc.net.cn 总编室：(010)64275323发行中心：(010)51780235 读者服务部：(010)68523946 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 开本880×12301/16印张1字数24千字 2015年1月第一版2015年1月第一次印刷 并 书号：1550661-50707“ 如有印装差错由本社发行中心调换 ：(010)68510107 GB/T30656—2014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所. 本标准主要起草人：陈小龙、郑红军、张玮、郭钰、刘春俊、刘振洲. I ...
GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片.pdf
