SJ 21315-2018 旋涂及热板设备通用规范.pdf

中华人民共和国电子行业标准 FL6190 SJ21315-2018
旋涂及热板设备通用规范
Generalspecificationforspin-coating andheat-dryingplatform
2018-01-18发布2018-05-01实施
国家国防科技工业局发布
SJ21315-2018 前言 本规范由中国电子科技集团公司提出。

本规范由工业和信息化部电子第四研究院归口。

本规范主要起草人：王卫华、显宇晴、赵付超。

本规范起草单位：中国电子科技集团公司第二研究所。

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SJ 21315-2018
旋涂及热板设备通用规范
1范围 本规范规定了旋涂及热板设备的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项等内容。

本规范适用于旋涂及热板设备（以下简称设备）的设计、生产、检验和验收。

2规范性引用文件AND
修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本规范，然而，鼓励范达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。

凡是不注日期的引用文件，其最新版本规范。

GB/T 191 GB 289志及 GB/T5910洁及相关受控环境第1部分：空告净度等级 GJB设备和电磁发射和敏感度要求与测量 GJB82护包装和 GJB210地、搭接和屏蔽设计的实 GJB子和电气做备、附件及备 3要求 3.1外形尺 除另有规定外，备的长度不大于1.5m，宽度不大于1m，高度不大于1.5m。

3.2颜色 3.2.1指示灯及按锂颜色 设备工作状态指示灯颜色及设备操作按钮颜色及义见表2。

备工作状态指示灯的颜色及其含义 颜色含义操作人员的操作 红紧急故障状况立即对危险状态进行处理 黄异常异常/待运行监视/干预 绿正常正常状况正常操作 注：表中颜色、含义、说明及操作人员操作系采用GB/T4025的规定。

SJ 21315-2018
表2设备操作按钮的颜色及其含义 颜色含义说明应用示例 红紧急危险或应急情况下的动作紧急停止 黄异常异常情况下的动作对抑制异常状况采取行动
重新启动己中断了的自动循环 绿安全为安全或为正常状况作准备的动作 指令性需要采取动作的状况复位功能 注：表中颜色、含义、说明及操作人员操作系采用GB/T4025的规定。

3.2.2导线颜色 设备动力线导线颜色、设备电气装配内部导线颜色及其含义应分别采用表3和表4规定的颜色。

表3动力线导线颜色及其含义 导线颜色含义 黄色交流三相电路的A相 绿色交流三相电路的B相 红色交流三相电路的C相，交流单相电路的火线 浅蓝色交流单相、三相电路的零线 黄绿双色地线
表4设备电气装配内部导线颜色及其含义 导线颜色含义 红色交流单相电路的火线、交流三相电路的C相、控制电路火线、电子管板极、帘栅极 黄色交流三相电路的A相 绿色交流三相电路的B相、电子管灯丝 黑色单相交流电路的零线、控制电路零线 棕色开关电源正极输出端、电子管栅极，电源线（5V+端、12V+端、24V+端等） 蓝色开关电源负极输出端、负电压、电子管阴极，电源线（5V-端、12V-端、24V-端等） 白色信号线、无指定用色的半导体电路 黄绿双色地线 3.3外观质量 设备的外观质量应符合下列要求： a)设备表面平整，无碰撞痕迹，无锈蚀、霉斑、污迹； b)塑料件无起泡、开裂、变形； c)结构件与控制元件完整、无机械损伤； d)各种标识清晰完好； e）设备镀涂层应平整、光洁、颜色一致，无剥落、表面划伤、斑纹及其他明显缺陷。

3.4标志 3.4.1设备铭牌 设备应在适当位置装有清晰、耐久的铭牌，铭牌中应注明的内容有： 2
SJ 21315-2018 a)设备型号和名称； b)制造编号（或出厂日期）或生产批次或代码； c)设备额定电压、电流、功率等； di设备外形尺寸和重量； e）承制方名称、代号或商标。

3.4.2零件、部件、导线标志 设备的零件、部件、导线标志应符合下列要求： a)设备的接线柱、接线板、插头座、接插件、线缆及它们的连接点、端头应加以标记； b)设备的控制装置和检测装置近旁，有表示用途（如“接通”、“断开"等）的清晰标记或图形 符号；
并应与电路图一致。

3.4.3安全标志 设备的安全标志应 )频色组合与使用方法应按GB2894的 b)设备特定在易于看到的地方。

3.5.1功能设计 设备应能实现列功能 a)的定涂功能 b)膜的功能； c)功能； d)功能； e)力能； f)能； g)使 3.5.2可靠性设计 设备应遵下列可靠性设计原则： a)设备应进行简化设计、耐环境设计、模块化设计、安全设计等相关可靠生设计； b)在保持设备性能的前提下，应减少元器件的种类和数量 c)设备寿命特征服从指数分布或被认为合理地服从指数分布 d)要求应根据设备的用途、寿命特 征、使...