中华人民共和国国家标准 UDC621.382.049 .77:531.7 铬版铬膜和胶膜厚度的测试方法 GB7239-87 降为SJ/T10859-96 Method of testing the chromium film and photoresist thickness of chrome blanks 本标准适用于铬版铬膜和胶膜厚度的测试. 1测试原理 1.1a-阶梯测量仪测量原理方框图 测量用信号源 (5kHz) 阶梯高度传感器 测量信号预放大器摸拟控制开关 校准放大器 记录仪 B C D F G 曲线 钢针 阶梯高 校准样片 E 8200 剩余斜度鉴别器 1.1.1阶梯高度检测原理 由测量信号源A产生一个5kHz的正弦信号注入阶梯高度传感器B 当钢针在样片表面移动时， 它将会随样片表面的起伏或阶梯部位而上下运动，因而使传感器中的电感耦合元件也随之运动，故传 感器之次级便输出一个随表面轮廓（起伏）而变化的交流信号，经预放大器放大，送至模拟控制开 关，为了使样片上的小的起伏值不至反映在测量曲线上，使曲线平整光滑，以便可检测主要的阶梯值， 故设有一个剩余斜度鉴别器E 用于控制模拟控制开关，当反映表面起伏的倾角小于某一角度a时，输 出信号亦很小，通过模拟开关使校准放大器F的入端接地，记录仪无输出（这便是阶梯仪名称的由来）， 校准放大器的输出信号送至记录仪，调节F放大器的放大系数，使校准样片(820nm)在记录纸上画 出的阶梯高度为8.2格，则记录纸上每一大格便表示100m 这样就可以放入待测样片进行测量. 1.1.2校平的作用 国家标准局1987-02-06批准 1987-11-01实施 1 GB7239-87 当钢针臂的扫描平面与样片不平行时，即使样片表面绝对平整，钢针也会上下移动，因而会引起 很大的测量误差，故在自动测量方式时，仪器要进行2~3次0.5mm长度的扫描，由此检测出样片的 倾斜程度信号，并送给机构，使钢针臂转动一相应角度，直至校平. 2测试仪器 a-阶梯薄膜及表面轮廓测量仪. 3测量步骤 3.1测量前应仔细阅读并熟悉操作说明有关内容、及控制面板上各控制钮的作用与功能. 3.2将仪器控制单元后部的电源电缆接市电电源（约220V)将控制单元与扫描单元的互连电缆接 好. 3.3将凸轮杆往前拉，使钢针缩回，载物台下降.在使载物台上下移动时，注意不要使载物台与钢 针架相碰. 3.4将控制单元右上方之量程开关拨在10kA档，仪器后部的水平放大开关打在“×50”档. 3.5将控制单元后部的电源开关打开（此时面板右上方之电源指示灯亮），预热15min. 3.6根据不同的材料调好钢针跟踪力. 3.7插入校准样片时，E旋钮的调节位置要适当，当凸轮杆往前拉时，样片与钢针架之间的距离 为2mm;凸轮杆往后推拉时，应有0.5mm的间隙. 3.8调零：将凸轮...
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