SJ/T 11508-2015 集成电路用正胶显影液.pdf

ICS31.030 L90 备案号：50565-2015 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11508—2015 集成电路用正胶显影液 Positive Photoresist developer for Integrated Circuit 2015-04-30发布 2015-10-01实施 9102 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T115082015 前 言 本标准是按照GB/T1.1一2009之规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口. 本标准起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院. 本标准主要起草人：戈士勇、何珂 工周霞、王香、表会川. AND INDUSTRY AUISININ ECHNO SJ STANDARDS I ...