ICS31-550 L95 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11763—2020 半导体制造设备人机界面规范 Specification for human interface for semiconductor manufacturing equipment 2020-12-09发布 2021-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11763—2020 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)提出并归口. 本标准起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、北 方华创科技集团股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、秦皇岛视听机械研究所、上海微电子 装备有限公司、北京京仪自动化装备技术有限公司、中微半导体设备（上海）有限公司. 本标准主要起草人：付金生、冯亚彬、程朝阳、 晓民、李臣友、杨刚、张伟敏、李天笑、王海涛、 何茂栋、郭训容、孙永健、何乐 AND INFORMATION SJ STANDARDS I ...
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