ICS31.030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T37406—2019 电子封装用球形二氧化硅微粉球形度的 检测方法颗粒动态光电投影法 Detection method of degree of sphericity of spherical silica for electronic packaging-Particle dynamic photoelectric projection method 2019-05-10发布 2019-12-01实施 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T37406-2019 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：江苏联瑞新材料股份有限公司、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、汉高 华威电子（连云港）有限公司. 本标准主要起草人：曹家凯、吕福发、阮建军、王松宪、姜兵、封丽娟、李冰、陈进、夏永生、戴春明、 马涛. SAC I GB/T37406—2019 电子封装用球形二氧化硅微粉球形度的 检测方法颗粒动态光电投影法 1范围 本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉颗粒球形度、平均球形度及球形度分布的颗粒动态光 电投影测试方法. 本标准适用于4μm~300μm的电子封装用球形二氧化硅微粉球形颗粒. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T6678化工产品采样总则 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法 GB/T15481检测和校准实验室能力的通用要求 ISO13322-2粒度分析图像分析法第2部分：动态图像分析法(Particlesize analysis一Image analysis methods-Part 2:Dynamic image analysis methods) 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件. 3.1 球形度degree of sphericity 单个粒子平面投影图像接近标准圆形的程度. 3.2 平均球形度average degree of sphericity 颗粒球形度的平均值，反映颗粒接近球形的程度. 3.3 球形度分布distribution of sphericity degree 某一球形度数值范围的颗粒数占全部已测试样品颗粒总数的百分比情况，可以得到测试样品的球 形度分布，包括球形度频率分布、上累积分布、下累积分布等. 4方法原理 颗粒动态光电投影法原理（见ISO13322-2):制备好的样品置于样品分散池中，利用鞘流技术让样 品颗粒逐个缓慢通过样品池，利用光路系统中的显微镜投影机，投射得到清晰的颗粒图像（短时间内可 测量很多颗粒)，然后通过图像采集，计算得出颗粒平面图像的面积、周长，然后计算出球形度、平均球形 度，并统计球形度分布.原理示意图见图1. 1 ...
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