ICS31.030 L90 备案号：52022-2015 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟 酸中金属元素的含量 Determination of the metals'concentration of hydrofluoric acid by ICP-OES 2015-10-10发布 2016-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T115542015 前言 本标准按照GB/T1.1-一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会.(SAC/TC203)归口. 本标准起草单位：苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中 国电子科技集团公司第四十六研究所. 本标准主要起草人：刘兵、钱森林 TECHNO 匡春香 王香、何秀坤、吴鹏珍. SJ STANDARDS I SJ/T115542015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量 1范围 本标准规定了采用电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)测定氢氟酸中金属元素的试验方法. 本标准适用于电子工业用氢氟酸中微量金属元素如钠(Na)、镁(Mg)、铝(AI)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、 钒(V)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、砷(As)、锶(Sr)、银(Ag)、镉(Cd)、 锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅(Pb)的测定 本标准适用于微量测定，推荐测定元素的浓度范围为.0mg/L~1mg/L. 应用本标准测定的电感耦合等离子体发射光谱仪(P-OE8应有较好的工作环境，推荐不低于 GB50472中规定的100000级结净室 本标准不涉及使用安金性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限 制. 2规范性引用文件 工 下列文件对本文件的应是必不可少的是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件. 凡是不注日期的用文件，其最新版本（包括的修改单）适期于本文件. GB/T11446.1997电子级水 GB50472电子工业洁净 厂广房 九 GB/T23942一2009化学试剂电感稱合等离子体原子发射光谱法通则 ANOLO 3方法原理 样品由载气（氩气）引入雾系统进行雾化后，以气溶胶的形式进入等离子体中，在高温和惰性气 体氛围中，其中被激发的原 离子释放出很强的特征电磁辐射，根据不同元素具有不同的辐射谱线和 辐射谱线的强弱与元素浓度是正比的关系进行定量；氢氟酸样品的测定采用标准加入法. NDA 4仪器和设备 4.1.1电感耦合等离子体发射光谱(1CP-0ES) 配置一整套耐氢氟酸基体的进样系统. 4.1.2精密移液器 100L 1000L. 5试剂及材料 5.1多元素混合标准溶液 1 ...
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