GB/T34213-2017
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会（SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位：四川鑫通新材料有限责任公司、江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、四川鑫炬 新兴新光源材料有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司。
本标准主要起草人：钱幼平、熊洲、唐大林、薛抗美、黄修康、侯龙超、张强。
GB/T34213-2017
蓝宝石衬底用高纯氧化铝
1范围
本标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质 量证明书和订货单（或合同)内容等。
本标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝（以下简称高纯氧化铝)，其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧 化铝可参照本标准执行。
高纯氧化铝的分子式为AlO，相对分子质量为101.96，晶型为α。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单)适用于本文件。
GB/T6609.22氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法取样 GB/T6609.26氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法有效密度的测定比重瓶法 GB/T14264半导体材料术语 GB/T16418颗粒系统术语 JC/T2147高纯氧化铝的痕量金属元素等离子体发射光谱检测方法 3术语和定义
GB/T14264和GB/T16418界定的术语和定义适用于本文件。
4要求 4.1产品分类 高纯氧化铝按真密度一般可分为4类，如表1所示。
表1高纯氧化铝分类 类别真密度主要生产方式
g/cm² 高纯氧化铝1类≥3.95火焰法等 高纯氧化铝2类≥3.80~3.95等离子法等 高纯氧化铝3类>3.00~3.80压制烧结法、冷坩埚法等 高纯氧化铝4类<3.00
4.2化学成分 高纯氧化铝有两个牌号：AO-A级、AO-B级，其化学成分应符合表2的规定。
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表2高纯氧化铝的化学成分
化学成分/% 各勒杂质含量 Al, O V
Ti Cr!SFe Na Ca Mg总杂质含量 AO-A级666*662.0×10-1.0×10-2.0×10-42.0×10-1.0×10-1.0×10-1.0×10-1.0×10-3 AO-B级566*663.0×10-1.0×10-3.0×10-3.0×101.0×10-1.0×10-1.0×10-5.0×10-
4.3外观及形态 高纯氧化铝的外观可为块状、饼状、颗粒状等，形态特征可为透明或半透明晶体、多晶体、陶瓷体等， 具体要求可由供需双方在合同中约定。
4.4其他 需方对高纯氧化铝有特殊要求时，由供需双方协商确定。
5试验方法
5.1高纯氧化铝的真密度按GB/T6609.26规定的方法进行测定。
5.2高纯氧化铝的化学成分按JC/T2147的规定或用辉光放电质谱法进行测定，仲裁按JC/T2147的 规定进行。
5.3高纯氧化铝的外观及形态目视检验。
6检验规则
6.1检查和验收 6.1.1产品应由供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准及合同的规定，并填写产品质 量证明书。
6.1.2需方可对收到的产品进行检验。
若检验结果与本标准或合同的规定不符时，应在收到产品之日 起15日内向供方提出，由供需双方协商解决。
6.2组批 产品应成批提交验收。
每批应由相同化学成分、以同批原料按类似工艺条件生产并可追溯生产条 件的高纯氧化铝组成。
6.3检验项目 每批产品应对真密度、化学成分、外观及形态进行检验。
需方有其他要求时，应在合同中注明。
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6.4取样 6.4.1生产取样 供方可在生产过程中选取有代表性样品，并作为出厂检验依据。
6.4.2仲裁取样 真密度和化学成分的仲裁取样按照GB/T6609.22的规定进行。
外观及形态的取样由供需双方协 商确定。
6.5检验结果的判定 6.5.1真密度的检验结果不合格时，判该批产品不合格。
6.5.2化学成分的检验结果不合格时，判该批产品不合格。
但允许随机取双倍数量试样对化学成分进 行重复检验。
重复检验结果仍不合格时，判该批产品不合格。
6.5.3外观及形态的检验结果不合格时，判该批产品不合格。
注：真密度或外观形态的检验结果不合格时，也可由供需双方协商解决。
7标志、包装、运输、贮存和质量证明书
7.1标志
7.2包装 产品采取双层塑料密封包装，置于合适的包装箱内，用纸屑等缓冲物填紧，以防窜动。
需方对包装 有特殊要求时，可由供需双方协商确定。
7.3运输 产品运输时应防止潮湿，不得剧烈碰撞。
7.4贮存 产品应密封存放于干燥、干净和无腐蚀性气氛之处。
7.5质量证明书 每批产品应附有质量证明书，其上注明： a）供方名称； b）产品名称和牌号； c）产品批号； d）各项分析检验结果； e）本标准编号； f）检验日期。
GB/T34213-2017 8订货单（或合同）内容GB/T 34213-2017 订购本标准所列产品的订货单（或合同）内应包括下列内容： a）产品名称及牌号； b)重量； c)技术要求； d)本标准编号； e)标准中规定应在订货单（或合同)中注明的内容； f）其他。
书号：-56241 GB/T34213-2017定价：14.00元...
