ICS77.040 H21 G 中华人民共和国国家标准 GB/T34612-2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线 测量方法 Measurement method for X-ray double crystal diffraction rocking curve of sapphire crystals 2017-10-14发布 2018-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T34612-2017 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位：中国科学院上海光学精密机械研究所、上海大恒光学精密机械有限公司、中国科 学院新疆理化技术研究所、新疆紫晶光电技术有限公司、江苏浩瀚蓝宝石科技有限公司、丹东新东方晶 体仪器有限公司. 本标准主要起草人：杭寅、徐民、潘世烈、张方方、赵兴俭、郭宏鹤、赵松彬. I GB/T34612—2017 蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线 测量方法 1范围 本标准规定了蓝宝石晶体X射线双晶衍射摇摆曲线的测量方法. 本标准适用于蓝宝石晶体射线双晶衍射摇摆曲线的测量. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T14264半导体材料术语 3术语和定义 GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件. 3.1 x轴X axis 倾斜样品的轴，由入射X射线、衍射X射线束构成的衍射平面与样品表面相交而成. 3.2 x角x angle 样品某晶面与样品表面的夹角. 3.3 甲角 样品台绕样品表面法线旋转的角度. 3.4 甲扫描scan 连续改变角并记录衍射强度的测量模式. 3.5 角o angle 人射X射线与样品表面夹角. 3.6 a扫描scan 连续改变w角并记录衍射强度的测量模式. 4方法提要 4.1晶体是由空间间距为d的一系列平行的离子、原子或分子平面构成.当一束平行的单色X射线 射入该平面，且X射线在相邻平面间的光程差为其波长的整数”倍时，就会产生衍射（反射）.当入射 1 ...
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