SJ/T 11637-2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则.pdf

ICS31.030 L90 备案号： SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11637—2016 电子化学品电感耦合等离子体 质谱法通则 Determination of metal ions in electronic chemicals Inductively coupled plasma mass spectrometry method 2016-10-22发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 SJ/T11637-2016 前言 本标准按照GBT1.1一2009给出的规则编写. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：杭州格林达化学有限公司，工业和信息化部电子工业标准化研究院. 本标准主要起草人：尹云舰、陈玉英、周利超、叶青、王香、裴会川. I ...