ICS29.045 H82 中华人民共和国国家标准 GB/T29849—2013 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的 电感耦合等离子体质谱测量方法 Test method for measuring surface metallic contamination of silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry 2013-11-12发布 2014-04-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 303 发布 中国国家标准化管理委员会 品层查真 GB/T29849—2013 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、江苏中能硅 业科技发展有限公司、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限 公司. 本标准主要起草人：褚连青、王奕、徐静、王鑫、何秀坤、裴会川、冯亚彬、鲁文峰、张雪. I GB/T29849—2013 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的 电感耦合等离子体质谱测量方法 警告：使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验.本标准并未指出可能的安全问题. 使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件. 1范围 本标准规定了利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定光伏电池用硅材料表面痕量金属杂质 含量的方法. 本标准适用于光伏电池用硅材料表面痕量金属杂质钠、镁、铝、钾、钙、钛、铬、铁、镍、铜、锌、钼含量 的测定.各元素的测量范围见表1. 表1表面金属杂质含量测量范围 单位为纳克每克 元素名称 元素符号 测量范围 钠 Na 3×10-2~2X103 镁 Mg 2X10-2~2X102 铝 Al 2X10-2~2X10 钾 K 2X10-~2X103 钙 Ca 4X10-2~2X102 钛 Ti 1X10-2~2X102 铬 Cr 1×10-2~2×102 铁 Fe 4X10-2~2×103 镍 Ni 1X10-2~2×102 铜 Cu 3X10-2~2X103 锌 Zn 2X10-2~2X103 Mo 1X10-2~2X103 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T25915.1一2010洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 3方法提要 将试样用硝酸、氢氟酸、过氧化氢和水的混合物浸提一定的时间，取出试样后，将浸提溶液加热蒸发 1 ...
GB/T 29849-2013 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法.pdf
