L55 ICS 31.080.99
GB 中华人民共和国国家标准
GB/T32817-2016
半导体器件微机电器件MEMS总规范 Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices- Generic specificationfor MEMS (IEC 62047-4:2008,Semiconductor devices-Micro-electromechanical devices- Part 4:GenericspecificationforMEMS,MOD)
2016-08-29发布2017-03-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布 中国国家标准化管理委员会
GB/T 32817-2016
目次
前言 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4标准环境 5标识 5.1器件识别 5.2器件可追溯性 5.3包装. 6质量评定程序 6.1总则 6.2质量和（或）性能合格认定 6.3鉴定批准程序 7试验和测试程序 7.1标准条件和通用预防措施 7.2物理检查 7.3气候和机械试验 7.4替代试验方法 附录A（规范性附录）抽样程序 附录B（资料性附录）MEMS工艺与器件的分类 附录C（资料性附录）规范性引用文件中标准一致性关系13 参考文献16
GB/T 32817-2016
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。
本标准使用重新起草法修改采用国际标准IEC62047-4：2008《半导体器件微机电器件第4部 分：MEMS总规范》。
本标准与IEC62047-4：2008相比，主要技术变化如下： 删除IEC62047-4：2008《半导体器件微机电器件第4部分：MEMS总规范》第1章中“表 1MEMS分类和术语”，该分类与我国现行国家标准GB/T26111《微机电系统（MEMS)技术 术语》不完全统一； 将IECQC001002-3：2005名称及对应的章节修改为IECQ03-3：2013。
IECQC001002-3： 2005已经废止，由IECQ03-3：2013替代； 将6.3.1中“按要求提交给NSI"修改为“按要求提交给有关部门”，因为NSI为美国机构； 删除B.3.1中的AS，此缩略语容易引起歧义； 将规范性引用文件中IEC62047-1《半导体器件微机电器件第1部分：术语和定义》修改为 GB/T26111《微机电系统（MEMS)技术术语》，确保此标准与现行国家标准相协调； 关于规范性引用文件，本标准做了具有技术性差异的调整，以适应我国的技术条件，调整的情况集 中反映在第2章“规范性引用文件”中，具体调整如下： 用GB/T2423代替IEC60068-2（部分），标准各部分之间的一致性程度见附录C； 用GB/T2424代替IEC60068-2（部分），标准各部分之间的一致性程度见附录C； GB/T4937（部分）代替IEC60749（部分），标准各部分之间的一致性程度见附录C。
为便于使用，本标准做了下列编辑性修改： -增加了6.1，第6章其他条款顺延； 把国际标准中的A.1.1改为A.2，悬置段提取标题作为A.2.1，其他章条号顺延； 一将B.3.1与B.3.2互换位置； 将标准名称修改为“半导体器件微机电器件MEMS总规范”。
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本标准主要起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京 理工大学、大连理工大学。
本标准主要起草人：李海斌、崔波、刘伟、石云波、裘安萍、施芹、杨拥军、刘冲。
GB/T 32817--2016
半导体器件微机电器件MEMS总规范
1范围
本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS)的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量 评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。
本标准适用于各类MEMS器件L如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分 析系统（Micro-TAS)和微能源MEMS]。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单)适用于本文件。
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