ICS27.010 CCS L97 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11883—2022 扩散炉热平衡和热效率及综合能耗的 计算方法 Calculation method of thermal equilibrium thermal efficiency and prehensive energy consumption for diffusion furnace 2022-10-20发布 2023-01-01实施 SJ 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T118832022 目次 前言 I 1范围.. ...1 2规范性引用文件.. 3术语和定义. ..1 4热平衡测试与计算基准，. 4.1物料平衡和热平衡计算单位 .1 4.2基准温度.. ..1 4.3热平衡测试范围 ..1 4.4热平衡测试工况和测试频次.... .1 5测定项目及测定方法. ...1 5.1测定前的准备. 2 5.2热平衡方框图.. 2 5.3测定时间. 2 5.4测定项目. 2 6物料平衡计算方法.. ... 3 6.1物料平衡图. 3 6.2收入项. 3 6.3支出项. .3 6.4物料平衡表.. 4 7热平衡计算方法 ......4 7.1热输入. 4 7.2热输出. 6 7.3热平衡表.... 9 8热效率计算方法.... 9 9综合能耗计算方法 9 SJ/T11883-2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由工业和信息化部节能与综合利用司提出. 本文件由中国电子技术标准化研究院归口. 本文件起草单位：中国电子技术标准化研元阮、北京北方华创微电子装备有限公司、北京赛西认证 有限责任公司、深圳赛西信息技术有限公司青中国科学院电工研究所. 本文件主要起草人 张生春 辰、麻林瑞、李兴、冀晓洲、李春琦、 杨立娜. INDUSTR HO SJ STANDARDSI ...
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