ICS71.040 C14 备案号：38976—2013 JC 中华人民共和国建材行业标准 JC/T2133-—2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素 含量的测定电感耦合等离子体原 子发射光谱法 Determination of impurities in silica sol for polishing solution in semiconductor industry-Inductively coupled plasma atomic emission spectrometric method 2012-12-28发布 2013-06-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 中华人民共和国 建材行业标准 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 JC/T2133—2012 中国建材工业出版社出版 新华书店北京发行所发行各地新华书店经售 北京市展兴印刷厂印刷 不得 开本880×12301/16印张0.75字数20千字 2013年5月第一版2013年8月第二次印刷 印数401~600定价18.00元 统一书号：155160188 编号：0843 网址：.jccbs..cn电话：(010)88386906 地址：北京市西城区车公庄大街6号院3号楼邮编：100044 本标准如出现印装质量问题，由发行部负责调换. JC/T2133—2012 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由中国建筑材料联合会提出. 本标准由全国工业陶瓷标准化技术委员会功能陶瓷分技术委员会(SAC/TC194/SC3)归口. 本标准起草单位：中国科学院上海硅酸盐研究所. 本标准主要起草人：陈奕睿、屈海云、邹慧君、汪正. 本标准为首次发布. JCT2133-2012 半导体抛光液用硅溶胶中杂质元素含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 1范围 本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-ABS)法测定半导体抛光液用硅溶胶中杂质 元素含量的方法. 本标准适用于半导体化学机械抛光(CMP)中抛光液用的各种硅溶胶.杂质元素包括：铝、钡、钙、 铬、铜、铁、钾、镁、锰、钠、镍、钛、锌、锆等14种元素. 表114种元素的检测范围 元素 浓度 浓度 ug/mL 元素 ug/mL 铝 0.01~10 镁 0.01~10 钡 0.01~5 锰 0.01~5 钙 0.01~10 钠 0.01~20 0.01~5 镍 0.01~5 铜 0.01~5 0.01~5 铁 0.01~5 0.01~5 钾 0.01~20 0.01~5 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法 3方法提要 试样通过相应的稀释处理或直接进样，在电感耦合等离子体炬焰中激发，发射出所含元素的分析线， 根据待测元素分析线的强度测定相应元素的含量. 4试剂与材料 4.1实验用水：应符合GB/T6682中规定的二级水. 4.2盐酸：密度1.19g/mL 优级纯. 4.3盐酸(11)：取盐酸(4.2)与水按照体积比1：1稀释. ...
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