ICS 77. 150. 40 CCS H 62 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1635-2023 镍铬合金靶材 Nichrome target 2023-12-20发布 2024-07-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布
YS/T1635-2023 前言 本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.
本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口.
本文件起草单位：南京达迈科技实业股份有限公司、江苏海泰新材料科技有限公司、南京欧美达应用 材料科技有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司.
本文件主要起草人：吴宇宁、钟成铭、王雷、周其刚、徐海斌、卿海标、姚力军、曹欢欢、廖培君、边逸军、 陈玉蓉、徐国进、高岩、张博厚.
YS/T 1635-2023 镍铬合金靶材 1范围 本文件规定了镀膜用镍铬合金靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、 贮存及随行文件和订货单内容.
本文件适用于纯度大于99.5%的低辐射玻璃（low-e玻璃）及薄膜电阻镀膜用镍铬合金靶材（以下简 称“靶材"）.
2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用面构成本文件必不可少的条款.
其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本 文件.
GB/T1031产品几何技术规范（GPS）表面结构轮法表面粗糙度参数及其数值 GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差 GB/T1958产品几何技术规范（GPS）几何公差检测与验证 GB/T3505产品几何技术规范（GPS）表面结构轮那法术语、定义及表面结构参数 GB/T4162锻轧钢棒超声检测方法 GB/T6394金属平均晶粒度测定方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T8647（部分）镍化学分析方法 GB/T10610产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法 GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件.
3. 1 靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分材料，不包括背板材料.
注：该阴极材料在带正电荷的阳高子击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极面在阳极表面沉积.
4分类和标记 4.1分类 4.1.1靶材按溅射面的形状，可分为平面靶和管靶（又称旅转靶）.
其中，常用的平面靶包括矩形平面靶 和圆形平面靶，形状示意图见图1.
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YS/T1635-2023 矩形平到 图形平面靶 管轮 标引符号说明： 一矩形平面靶的长度尺寸（圆形平面靶的直径尺寸）； D-管靶的外径尺寸.
图1靶材形状示意图 4.1.2靶材按照成分分为7个牌号：Ni93Cr7、Ni90Cr10、Ni80Cr20、Ni70Cr30、Ni60Cr40、Ni56Cr44、 Ni50Cr50.
4.2标记 靶材产品标记按产品名称、本文件编号、牌号、形状的顺序表示.
标记示例如下： 示例： 以牌号为Ni93Cr7制造的，形状为管犯管靶的镍络合金靶材，其标记为： 靶材YS/T 1635-Ni93Cr7-G 5技术要求 5.1化学成分 靶材各牌号的化学成分应符合表1的规定.
表1化学成分 化学成分（质量分数） % 牌号 杂质元素，不大于 Cr N Fe Cu AI si C N 0 Ni93Cr7 6. 5~7. 5 0 05 0. 005 0.01 0.05 0.01 0 005 0.015 0.05 Ni90Cr10 9.0~11.0 0.05 0.005 0.01 0.05 0.01 0.005 0.015 0.05 Ni80Cr20 18.5~21.5 0.12 0.015 0.02 0.08 0.01 0.005 0.025 0.08 Ni70Cr30 28.5~31.5 余量” 0.12 0.015 0.03 0.08 0.01 0.005 0.025 0.08 Ni60Cr40 38.0~42.0 0.15 0.015 0. 03 0.10 0.02 0.005 0.025 0.08 Ni56Cr44 42.0~46.0 0.15 0.015 0.03 0.10 0.02 0.005 0.025 0.08 Ni50Cr50 48.0~52.0 0.15 0.015 0.03 0. 10 0.02 0.005 0.025 0 08 注：需方如有特殊要求，由供需双方商定，并在订货单中注明， 镍含量为100%减去表中所列其他元素总和所得.
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YS/T 1635-2023 5.2平均晶粒尺寸 靶材晶粒组织应均匀、一致，平均品粒尺不大于150μm.
5.3外形尺寸及其允许偏差 靶材的外形尺寸及其允许偏差由需方提供图纸.
靶材的外形尺寸及允许偏差应符合表2的规定.
需方如有特殊要求，由供需双方共同商定，并在订货单中注明.
表2外形尺寸及其允许偏差要求 形状 平面杷材 管靶 规格 mm L≤400 400800 D<≤300 300<D<800 平行度 mm/m ≤0. 1 ≤0.3 垂直度 ≤0.15 ≤0.25 ≤0.3 mm 直度 mm/m ≤1.0 圆度 mm ≤0.6 ≤1.0 其他尺寸 按照图纸规定 注1：平行度是指线元素、面、中心平面、相切平面或轴线相对基准在基本角度0°（平行）方向上的变动程度. 注2：垂直度是指方向公差中控制被测要素与基准要素夹角为90°的公差要求，分为给定平面、给定方向、任意方向 的垂直度要求. 5.4表面粗糙度 靶材的表面粗糙度应符合表3的规定. 表3表面粗糙度 部位 镀面 焊接面 侧面及其他表面 R. gms ≤1.6 ≤3.2 3. 2~6. 4 5.5内部质量 靶材内部不应有夹渣、孔洞和裂痕等影响使用的缺陷，靶材非溅镀区允许存在直径不大于1.0mm、 数量不大于2个的孔洞. E
