洁净室介绍_图文.ppt
半导体工厂洁净室示意图
洁净室的空调系统及其气流组织形式
洁净室的构造是怎样的？
比较项目 全面垂直层流方式 部分层流方式 乱流方式洁净室 来来来米菜气流方式流程图 营内热热理口 AR下E C-1000 C-100 外筑想理 外1~1000级 1~10 000级 10 000～100 000级室内全部为高洁净度区域 洁净通道内为高洁净度区域 室内洁净度不高洁净度 易受作业人员的活动而导 可以减少作业人员对洁净度的 易受作业人员的活动而导致洁净度下降 影响 致洁净度下降通道内200-400次7h，换气次数 400-500次/h、 下降风速0.25-0.45m 20-50次/h下降风速0.45m/s /s;其它区域100-200次/h生产设备的发热即为空调 对生产设备的发热、排热进行 循环风量较少运行成本 的热负荷，运行成本最高 分别处理，可以降低运行成本 运行成本最低设备费用 中
洁净室的洁净度是如何确定的？
1立方英尺为单位空间直径0.5微米的尘埃粒子为比较标准
