中华人民共和国国家标准
GB/T 26307-2025代替GB/T 26307-2010
银 東靶材
Silver target
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
本文件代替GB/T26307-2010《银靶3，与GB/T26307-2010相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
a）增加了术语和定义（见第3章）；b）增加了产品Ag99.995纯度的分类和化学成分的要求，以及对应的试验方法（见4.1.1、5.1、6.1) ;d）增加了产品标记要求（见4.2）： c）增加了产品结构形式要求（见4.1.2）；粒度应不大于150μm（见5.2，2010年版的3.3）；h）更改了产品外形尺寸及其允许偏差要求，由整体产品尺寸修改为不含背板的产品尺寸要求（见 g）增加了产品焊接质量要求、试验方法及检验结果判定的规定（见5.5、6.5、7.4.2）：5.6，2010年版的3.6）；i）更改了产品晶粒度分析方法，删除了附录A"现场金相测定银靶横向平均晶粒度的检测方法”j）增加了产品检验项目及取样要求（见7.3）： （见5.2，2010年版的附录A）；k）增加了产品随行文件及订货单中相关内容（见8.3、第9章）.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国有色金属工业协会提出.
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口.
本文件起草单位：有研亿金新材料有限公司、金川集团股份有限公司、云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司、紫金矿业集团黄金冶炼有限公司、有研亿金新材料（山东）有限公司、有研资源环境技术研究院（北京）有限公司.
本文件主要起草人：宋琦、何金江、万小勇、杨晓艳、闻明、吴卫煌、朱孜毅、袁学韬、张亚东、尚再艳、王传军、应宗波、张晓娜、徐国进、辛柏朴、刘丹.
本文件于2010年首次发布，本次为第一次修订.
银靶材
1范围
本文件规定了银靶材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单.
本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材.其他用途的银靶材参照使用.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款，其中注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
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3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件.
3.1
靶材target
注：该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极面在阳极表面沉积. 溅射沉积技术中的阴极部分.
3.2
