中华人民共和国国家标准
GB5594.1-85
Test methods for properties ofstructure ceramic used in electronic ponentsTestmethod for gas-tightness
国 家 标准 局 批准
中华人民共和国国家标准
电子元器件结构陶瓷材料 性能测试方法气密性测试方法
Test methods for properties ofstructure ceramic used in electronic ponents Test method for gas-tightness
本标准适用于电子元器件结构陶瓷室温下气密性的测试.
1测试原理
氨气经陶瓷片渗透到氨质谱检翻仪的回旋室中，电离后形成离子流.根据此离子流值，可确定漏氨速率和判断陶瓷的气密性.
2测试设备
2.1氨质谱检掘仪，灵缴度6.0×10Pa-1/s.2.2通用马弗炉，0~1000℃.
3测试试样
3.1将陶瓷片两面进行研磨，研磨尺寸按GB5593-85《电子元器件结构陶瓷材料》规定，经透液
性检验、灯光或十倍放大镜观察后无裂纹时方可使用.3.2清洗上述试样，放入马弗炉中加热，以450℃/h的速度升温到900℃，并保温30min.3.3试样冷至室温后取出，放入干燥器中，待测.
4测试方法
4.2接通电源，相继开动机械泵和扩散泵，待测试系统真空度至1.33×10‘Pa时即可测试. 4.1用镊子将试样从干燥器中取出，放在固定的夹具上，用真空泥将试样和夹具密封.4.3氨枪对准瓷片进行喷吹，喷次15s后，记录检漏仪上检流计读数，并查出对应漏氮速率值.
5结果评定
漏氮速率用10Pa-1/s数量级表示，报告数据准确至小数点后一位，平行试样误差小于0.5×10*Pa1/s，最后结果是三个试样的平均值.
若漏氨速率小于或等于10.0×10Pa.1/s时，则陶是气密的，否则是不气密的.
附加说明：
本标准由中华人民共和国电子工业部提出.本标准由电子工业部12所负责起草.本标准主要起草人高陇桥.
