中华人民共和国国家标准
GB/T 47081-2026
氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
Determination of iron aluminum andcalcium of silicon nitride powderInductively coupled plasma atomic emission spectrometry
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
snc
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口.
本文件起草单位：新疆新特新能材料检测中心有限公司、四川永祥新能源有限公司、山东中临半导股份有限公司、青海南玻新能源科技有限公司、国标（北京）检验认证有限公司、高富高新材料（浙江） 有限公司、松山湖材料实验室.
本文件主要起草人：邱艳梅、刘国霞、李冰清、李兰兰、贾琳、李锦春、刘红亮、曹俊英、王春明、赵培芝、李强、陈彩霞、钟海炎、胡伟.
scnc
氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
1范围
本文件适用于氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的测定，测定范围为0.001mg/g~4.00mg/g. 本文件描述了氮化硅粉体中铁、铝、钙含量的电感耦合等离子体发射光谱测定方法.
2规范性引用文件
件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文本文件.
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T11446.1-2013电子级水GB/T14666分析化学术语
3术语和定义
GB/T14666界定的术语和定义适用于本文件.
4方法原理
用氢氟酸、硝酸将氮化硅粉体样品在微波消解仪内消解在电热板上加热除去硅、氟等，用硝酸溶解残渣.将分析试液引人电感耦合等离子体发射光谱仅，在选定的最佳测定条件下，测量分析试液中各元 素的含量.
5试剂和材料
5.1水：GB/T11446.1-2013规定的EW-Ⅲ级水或相当纯度的水. 5.2氢氟酸（p=1.15g/cm²）：各待测元素含量不大于10pg/L5.3硝酸（p=1.41g/cm）：各待测元素含量不大于10μg/L.5.4混合元素标准贮存溶液：有证标准贮存溶液或配制的标准贮存溶液，各待测元素质量浓度为5.5混合元素标准溶液：移取10mL混合元素标准贮存溶液（5.4）于100mL容量瓶中，用水稀释至刻 1 000 μg/mL 度，摇匀，此溶液1mL含待测元素各100μg.
6仪器设备
6.1电感稿合等离子体发射光谱仪：配备耐氢氟酸系统.
