中华人民共和国国家标准
GB/T18680-2002
The transparent conductive glass with indium-tin oxidefilmsused in liquid crystal display
中华人民共和国 国家质量监督检验检疫总局 发布
目 次
1范围.3术语和定义 2规范性引用文件4玻璃基片规格5SiO阻挡层规格6ITO导电膜层规格7膜层缺陷 8抽样.9检验和试验方法10标志..11包装、运输、贮存
前 言
本标准由中国机械工业联合会提出.本标准由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会归口.本标准参加起草单位：深圳莱宝真空技术有限公司、深圳南玻集团股份有限公司. 本标准负责起草单位：广州有色金属研究院.本标准主要起草人：袁镇海、藏达煌、赵小伟、王志洁、付志强、黄绍江、侯惠君、林松盛.
液晶显示器用氧化钢锡透明导电玻璃
1范围
本标准规定了液品显示器（LCD）用氧化钢锡（Indium-TinOxide，ITO）透明导电玻璃的技术要求、标志、包装、运输及贮存.
本标准适用于液品显示器用氧化钢锡透明导电玻璃.
2规范性引用文件
修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是 下列文件中的条款通过本标准的引用面成为本标准的条款.凡是注日期的引用文件，其随后的否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准.
GB/T14264半导体材料术语 (eqv ISO 2819)
3术语和定义
GB/T14264确立的以及下列术语和定义适用于本标准.
微观波纹度Microcorrugation
在玻璃基片的浮法锡面（或抛光面）上，沿垂直于浮法拉伸方向扫描表面轮廓线，并设定截止波长为0.8mm~8.0mm，选取任意20mm取样长度，按图1所示的方法，得PV的间距R即为微观波纹度值.
图1玻璃基片的微观波纹度
4玻璃基片规格
4.1长度及宽度的允许偏差
对于长度及宽度的公称尺寸在470mm以内的玻璃基片，允许偏差均应为士0.3mm.
4.2厚度的允许偏差
厚度的允许偏差应符合表1要求.
表1厚度的允许偏差
厚度/mm 充许偏差/mm1.10 ±0.100.70 ±0. 050.55 0.40 ±0. 05 ±0.050.35 ±0. 05
4.3垂直度
玻璃基片的垂直度的公差等级α/L≤0.1%（见图2.a为公差带，L为被测玻璃基片的相应边长）
图2玻璃基片的垂直度
4.4弯曲度
厚度≥0.70mm的玻璃基片，弯曲度（h/L）≤0.10%（见图3）；厚度<0.70mm的玻璃基片，弯曲度（h/L）≤0.15%（见图3）；不允许S形弯曲. 图3玻璃基片的弯曲度 4.5微观波纹度（玻璃的浮法锡面） 微观表面波纹度的数值R的最大值（见图1）应符合表2要求. 表2玻璃基片的微观波纹度 厚度/mm 抛光玻璃 超级浮法玻璃 浮法玻璃1-10 ≤0. 05 μm/20 mm ≤0 10 μm/20 mm ≤0.15 xrm/20 mm0.70 0. 55 ≤0. 08 μm/20 mm ≤0. 15 μm/20 mm ≤0. 13 μm/20 mra ≤0.20 yμm/20 mni ≤0. 25 μm/20 mm0.40 ≤0. 20 μm/20 mm ≤0. 30 ym/20 mm0.35 ≤0. 30 μm/20 mm 4.6倒边 4.6.1C型倒边 宽度0.05mm≤W≤0.40mm（见图4）. 图4C型倒边
