GB/T 19500-2025表面化学分析 X射线光电子能谱分析方法通则.pdf

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中华人民共和国国家标准

GB/T 19500-2025代替GB/T 19500-2004

表面化学分析 X射线光电子能谱分析 方法通则

Surface chemical analysis-Generalrules for X-ray photoelectronspectroscopic analysismethod

国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布

目次

前言引1范围2规范性引用文件3术语和定义5方法原理 4符号和缩略语6仅器 6.1仅器组成6.2仅器性能 137试样 138分析步骤 148.1述8.2分析准备8.3分析须知 158.4定性分析. 168.5定量分析 178.6成像与微区分析 188.7深度剖析9结果报告 8.8数据处理与分析 199.1述 199.2基础信息 20 69.3扩展信息参考文献.

前言

本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.

比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术性变化如下: 本文件代替GB/T19500-2004《X射线光电子能谱分析方法通则》,与GB/T19500-2004相

a)更改了“规范性引用文件”的引用文件(见第2章);b)增加了“术语和定义”的引用文件及部分术语和定义(见第3章,3.1、3.2、3.4、3.6、3.7、3.8、3.9、3.11、3.19 3.20、3.25 、3.26 、3.27、3.28、3.32、3.37 3.38 、3.39 和 3.40) ;(集百)一各-(3 (集的002享集)一-(Pf)更改了"X射线激发源”条目的描述,增加了表1和同步辐射光源的描述(见6.1.2,2004年版的5.1.1);h)更改“电子探测器“条目的描述(见6.1.5.2004年版的5.1.3); g)增加了“电子透镜系统“条目(见6.1.3);i)更改了“电荷中和器”条目的描述(见6.1.7,2004年版的5.1.6);j)更改了“数据采集与处理系统”条目名称并增加了内容(见6.1.9,2004年版的5.1.4):k)更改了“仪器性能”条目中的引用文件,并增加了阳极功率、信号强度和能量分辨、荷电中和、 离子溅射等条目(见6.2.2004年版的5.2):1)更改了“试样”一章的名称和内容(见第7章,2004年版的第6章);m)增加了“分析步骤”一章的引用文件(见8.1);o)更改了“荷电校正”和“谱仪能量分辨”条目的描述(见8.3.1和8.3.2,2004年版的7.2.1和 7.2.2);q)更改了“结果报告”一章名称和内容(见第9章,2004年版的第8章).请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.本文件由全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC608)提出并归口. 本文件起草单位:北京大学、清华大学、北京师范大学、中国科学院化学研究所、中国科学院物理研本文件主要起草人:谢景林、徐尧、周雄、姚文清、吴正龙、刘芬、沈电洪.本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:本次为第一次修订. 2004年首次发布为GB/T19500-2004:

究所.

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