中华人民共和国国家标准
GB/T25184-2010
Verification method for X-ray photoelectron spectrometers
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
目次
1范围 前言 .....2规范性引用文件3符号和缩略语4方法原理与系统构成5计量单位与技术指标 6检定环境7检定项目与方法8报告检定结果.9检定周期 22
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.本标准负责起草单位：福建光电有限公司、厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室. 本标准由全国微束分析标准化技术委员会表面分析分委员会归口.本标准主要起草人：王水菊、时海燕、丁训民.
X射线光电子能谱仪检定方法
1范围
本标准规定了X射线光电子能谱仪的检定方法.本标准适用于使用非单色化AI或MgX射线或单色化AIX射线，且带有溅射清洁用离子枪的X射线光电子能谱仪的检定.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用本文件.GB/T19500-2004X射线光电子能诺分析方法通则 GB/T21006-2007表面化学分析X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪强度标的线性(1SO 21270 :2004 IDT)GB/T22461-2008表面化学分析词汇（1SO18115:2001，1DT）(ISO 14606:2000 IDT) GB/T 20175-2006 表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法GB/T22571-2008表面化学分析X射线光电子能谱仪能量标尺的校准（ISO15472:2001，IDT)GB/T25185-2010表面化学分析X射线光电子能谱荷电控制和荷电校正方法的报告(ISO 19318:2004 IDT) ISO15470：1999表面化学分析X射线光电子能谱仪所选仪器性能参数表述（SurfaceChemical AnalysisX-ray photoelectron spectrometersDescription of selected instrumentalperformance parameters)Guidelines for preparation and mounting of specimens for analysis) ISO 18116表面化学分析样品制备和安装程序标准指南（Surface chemicalanalysisISO18118:2004表面化学分析AES和XPS均相材料定量分析用实验测定相对灵敏度因子的使用指南（Surface chemical analysisAuger electron spectroscopy and X-ray photoeletronspectroscopyGuide to the use of experimentally determined relative sensitivity factors for the quantitativeanalysis of homogeneous materials) ISO 18516：2006表面化学分析AES 和 XPS横向分辨率的测定（Surface chemical analysisAuger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopyDetermination of lateral resolution)ISO19319表面化学分析AES和XPS横向分辨率、分析面积和分析器分析面积的测定(Surface chemical analysis-Auger electron speetroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy Determination of lateral resolution analysis aren and sample area viewed by the analyzer)ISO 24237表面化学分析XPS强度标的重复性和一致性（Surface chemical analysis-X-rayphotoeleetron spectroscopyRepeatability and constancy of intensity scale)
3符号和缩略语
下列符号和缩略语适用于本文件.
3.1能量标检定的符号和缩略语
测得的能量比例误差 测得的零点偏移误差，以eV为单位Esn 对某一给定的E修正后的结合能结果，以eV为单位E 某一颜繁被测元素的结合能，其值在指出的结合能标尺上已设定，经校准后能准确读Es 测得的结合能，以eV为单位 出，以eV为单位Esar 表1中对第n个峰测得的结合能平均值，以eV为单位Eo 表1中第n个峰一组结合能测量数据中的一个，以eV为单位Exi- 表1中第n个峰在结合能标尺上位置的参考值，以eV为单位 在定期校准中Au4f和Cu2p的重复测量次数表1中标识峰的标号Us 置信度95%时已校准能量标的总不确定度，以eV为单位U(E) 用Au4f和Cu2P蜂校准产生的在结合能E处置信度95%时的不确定度，假设标尺U 完全线性，以eV为单位 从式（7）得到的e:和e：在置信度95%时的不确定度，以eV为单位由式（12）和式（13）得到的在没有线性误差的情况下，置信度95%时的校准不确定度偏移能量，对于表1中n=1.2.3，4的峰，在给定的X射线源下，由测量校准峰结合能的E 平均值减去参考能量值给出，以eV为单位 Ea的修正值，校准后加上以得到正确的结合能值从式（16）得到的和的平均值8. 置信度95%时的能量校准容差极限值（由分析者设定），以eV为单位从式（4）得到的、在Ag3d峰处测量的标尺线性度误差，以eV为单位 从式（5）或式（6）得到的、在CuLVV峰处测量的标尺线性度误差，以eV为单位dki、a（或a）和a的最大者对表1中第a个峰的结合能7次测量得到的重复性的标准偏差，以eV为单位新测峰的重复性的标准偏差，以eV为单位
3.2强度标检定的符号和缩略语
Ec 测量的 Cu LVV峰的能量值E 第个能量通道的能量值I AES中第个电子束流通量值或XPS中第：个X射线阳极发射电流值 常数M (E ) 高强度X射线谱在能量E，处的校正计数率M 第：个通量值的校正计数率M(E ) Nn(E;) 低强度X射线谱在能量E，处的校正计数率 高强度X射线谱在能量E，处的测量计数率N. 第i个通量值的测量计数率N (E ) 低强度X射线谱在能量E，处的测量计数率N. ±8 该系统使用的和使该系统保持在由k（1土6）给定的容许线性离散限范围内的最大计数率 线性的分数极限延长死时间非延长死时间
