中华人民共和国国家标准
GB/T26065-2010
Specification for polished test silicon wafers
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）归口.本标准起草单位：宁波立立电子股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司. 本标准主要起草人：官龙飞、何良恩、许峰、黄笑容、刘培东、王飞尧.
硅单晶抛光试验片规范
1范围
1.1本标准规定了半导体器件制备中用作检验和工艺控制的硅单晶试验片的技术要求.1.2本标准涵盖尺寸规格、结晶取向及表面缺陷等特性要求.本标准涉及了50.8mm～300mm 标准直径的硅抛光试验片技术要求.片等，参见SEM124（硅单晶优质抛光片规范》.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T1554硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 GB/T1555半导体单晶晶向测定方法GB/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T4058硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法GB/T6616半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法非接触涡流法 GB/T6618硅片厚度和总厚度变化测试方法GB/T6619硅片弯曲度测试方法GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法GB/T6621硅片表面平整度测试方法GB/T6624硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T11073硅片径向电阻率变化的测量方法GB/T12964硅单晶抛光片GB/T13387硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法GB/T13388硅片参考面结晶学取向X射线测试方法GB/T14264半导体材料术语 GB/T14140硅片直径测量方法YS/T26硅片边缘轮廓检验方法SEMI24硅单晶优质抛光片规范ASTMF1526表面金属含量测量
3术语和定义
GB/T14264中界定的术语和定义适用于本文件.
4要求
4.1产品分类
根据硅片直径大小将硅单晶抛光试验片划分为：小直径硅片和大直径硅片.其中，小直径硅片分A、B、C三个级别；大直径硅片分机械试验片和工艺试验片.另外，本标准还定义了线宽为0.18pm或0.13m的200mm和300mm硅试验片规范，具体分类如表1所示.
表1硅单晶抛光试验片分类
小直径硅片 大直径硅片直径范围/mm 项目 1500 18 xm 或 0 13 μm 线宽的 200 mm 和产品类别 A级、B级、C级 机械试验片 工艺试验片 300mm硅试验片
4.2小直径硅抛光试验片规格
A级、B级和C级硅抛光试验片必须包含表2中列出的各项规格项目，表3为小直径硅单品抛光试验片详细规范要求.
表2小直径硅单晶抛光片分类及必须包含规格项目列表
等级生长方法 直径 晶向 厚度 取向基准 边缘轮廓表面沾污 表面缺陷 导电类型 掺杂剂 电阻率A级 < < < < < < < √B级 < 3 -C级注：“√”表示硅单品抛光试验片中必须包含的规格项目，一"表示该试验片可以不包含的规格项目. 表3小直径硅单晶抛光试验片规范 技术要求项 目 A级 B级 C级1 0 一般特性1.1 生长方法 用户规定 用户规定 用户规定1.2 晶向 用户规定 用户规定 用户规定1.3 擦奈剂 导电类型 用户规定 不境定 不规定 不规定1 4 1.5 FQA、边缘去除距离 用户规定 不规定 不规定 不规定 不规定2 0 电学特性2.1 电阻率 用户规定 用户规定 用户规定2 2 径向电阻率变化（RRG） 可选 可选 可选 表3（续） 项目 技术要求A级 B级 C级2 3 电阻率条纹 少子寿命 不规定 不规定 不规定3 0 2 4 化学特性 不规定 不规定 不规定3.1 氧含量 不规定 不规定 不规定3.2 径向氧含量变化 不规定 不规定 不规定3 3 碳浓度 不规定 不规定 不规定4 0 结构特性4. 1 位错蚀坑密度 无位错蚀坑 可选 不规定4 2 滑移线 无滑移线 可选 不规定4.3 系属结构 无系属结构 可选 不规定4.4 李品 无激满 可选 不规定 不规定4 6 4.5 浅蚀坑 无浅蚀坑 可选 可选 不规定4.7 OISF 可选 可选 不规定4 8 氧沉淀 不规定 不规定 不规定5.0 硅片制备特性5. 1 硅片ID标志 可选 可选 不规定5.2 正南薄膜 可选 可选 不规定5.3 清净区 可选 可选 不规定5.4 非本征吸际 可选 可选 不规定5 5 背封 可选 可选 不规定5.6 6 0 退火 机械特性 可选 可选 不规定6 1 直径偏差/mm50. 8 mm ±0 38 ±0.51 ±0.7676 2 mm ±0 51 ±0.64 ±1 27100 ms ±0.20 ±0.50 ±1.00125 mm ±0.20 ±0.50 ±1 006.2 主参考面尺寸/mm50.8 mm（平边长度） 12 70~19 05 12 70 ~19 05 12 70 ~19 0576. 2mm（平边长度） 19. 05 ~25. 40 19 05~25 40 19 05~25. 40100 mm（平边长度） 125mm（平边长度） 30~35 40~45 28-~37 38~47 28~37 38~47
