中华人民共和国国家标准
GB/T47926-2026
半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范
Technical specification for maglev self-bearing clean pump for semiconductorapplications
国家标准化管理委员会 国家市场监督管理总局 发布
目 次
前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4磁悬浮自轴承洁净泵组成4.1概述 -34.2泵头4.4控制器 4.3电机定子 54.5线缆 .-55一般要求 -65.1环境及使用条件 b5.2功能 65.3控制模式 -76性能要求6.1性能参数 -76.2压力流量性能6.3转速误差 .-86.4转速调节时间 6.5振动 .-86.6噪声6.7泵头密封性6.8泵头防腐性 .-86.9泵头洁净度 -86.10泵头表面粗糙度 6-6.11电机防腐性7试验方法 97.1悬浮旋转试验 6-7.2压力流量性能试验 -97.3转速误差试验7.4转速调节时间试验7.5振动试验 7.6噪声试验 9
7.7泵头密封性试验7.8泵头防腐性试验 -10 107.9电机防腐性试验 -107.10泵头洁净度试验 107.11表面粗度试验 137.12数据整理 -13附录A（资料性） 磁悬浮泵五个自由度磁悬浮原理示例 -14A.1述 14A.2五个自由度磁悬浮原理 -14附录B（资料性）磁悬浮泵保护机制示例B.1防擦壳保护流程 -17B.2标准停机流程 B.3欠压保护流程 -18 -17B.4过温保护流程 18B.5空载保护流程 19附录C（规范性）泵头洁净度及表面粗糙度指标 -20参考文献 -21
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国磁悬浮动力技术基础与应用标准化工作组（SAC/SWG28）提出并归口.
本文件起草单位：苏州苏磁智能科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、华海清科（北京）科技有限公司，浙江启尔机电技术有限公司、苏州智程半导体科技股份有限公司、宁波积硅电子材料有限公司、世源科技工程有限公司：浙江大学、中国科学院上海应用物理研究所、苏州大学、东南大学、天瑞磁浮智能制造（山东）有限公司、湖南凌翔磁浮科技有限责任公司、重庆凯磁医疗技术有限公 司、聚实科技（深圳）有限公司、浙江高旋动力装备有限公司、上海市计量测试技术研究院有限公司、山东磁悬浮产业技术研究院有限公司、兰州理工大学、兰州兰泵有限公司、杭州浙富核电设备有限公司、上海多宁生物科技有限公司.
孙立宁、吴鹏、李致宇、周文武、郑士杰、崔庆文、祝长生、常燕、尤志强、王献忠、张人会、马柏青、吴鹏、 本文件主要起草人：尹成科、段新额，许璐、徐俊成、方泽华，华斌、唐步高，郑圣弘，胡亮、戴志敏、顾红峰、赵宏宇、海弘毅、李志军、张健宇、王勇.
