中华人民共和国国家标准
GB/T26249-2010
Gases for electronic industry-Hydrogen selenide
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准的附录A和附录B为规范性附录.附录C为资料性附录.本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC203/SC1）归口.本标准起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河北保定市北方特种气体有限公司.
本标准主要起草人：周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、周鹏云、徐少兵.
电子工业用气体硒化氢
1范围
本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全.
本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品.它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注人和掺杂.
分子式：HSe
相对分子质量：80.97588（按2007年国际相对原子质量计算）.
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款.凡是注日期的引用文件，其随后的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然面，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准.
GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB5099钢质无缝气瓶GB/T5832.1气体中湿度的测定第1部分：电解法GB7144气瓶颜色标志GB/T11640铝合金无缝气瓶GB14193液化气体气瓶充装规定GB/T26571特种气体储存期规范《气瓶安全监察规程》（国家质量监督检验检疫总局发布，2000年）
3技术要求
硒化氢的技术要求应符合表1的规定.
表1技术指标
项 指 标硒化氢（HSe纯度（体积分数）/10 66 66复（H）含量（体积分数）/10- 氧氯（O Ax）含量（体积分数）/10- 20 10氮（N）含量（体积分数）/10 20一氧化酸（CO）含量（体积分数）/10 八 10二氧化碳（CO）含量（体积分数）/10 10总经（以甲院计含量（体积分数）/10 10硫化氢（HS>含量（体积分数）/10- 10水（H（O）含量（体积分数）/10 八 10
4试验方法
4.1检验规则
4.1.1硒化氢产品应逐一检验并验收.当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格.
4.1.2硒化氢采样安全应符合GB/T3723的相关规定.
4.2晒化氢纯度
硒化氢纯度按式（1)计算：
Φ100( ; ; ; ; ; ) × 10( 1 )
式中：
-硒化氢纯度（体积分数），10；氢含量（体积分数）.10-；一氧氯含量（体积分数），10：一氮含量（体积分数），10； Φ一氧化碳含量（体积分数），10-；Φ一一二氧化碳含量（体积分数），10°；总烃含量（体积分数），10-；一硫化氢含量（体积分数）.10：水含量（体积分数），10
4.3放空
测定硒化氢中的杂质含量时，应对放空的晒化氢试样进行处理，推荐采用活性炭和稀碱溶液进行吸收中和.
4.4氢、氧氢、氮的测定
4.4.2允许采用其他等效的方法测定硒化氢中的氢、氧十氯、氮含量.当对测定结果有异议时，以本标 4.4.1氢、氧氯、氮的测定见附录A.准4.4.1规定的方法为仲裁方法.
4.5一氧化碳、二氧化碳、总经（以甲烷计）的测定
按GB/T8984规定并采用预切割技术测定确化氢中的微量一氧化碳、二氧化碳和总经含量.
色谱柱在180C通载气活化约2h.或其他等效色谱柱. 预分离柱：长约2.5m，内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的PorapakQS，
允许采用其他等效的方法测定晒化氢中的微量一氧化碳、二氧化碳和总经含量.当对测定结果有异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法.
4.6硫化氢含量的测定
4.6.1硫化氢的测定见附录B.4.6.1规定的方法为仲裁方法.
4.7水分含量的测定
按GB/T5832.1执行.
仪器检测限：0.1×10-（体积分数）.
允许采用其他等效的方法测定晒化氢中水分含量.当对测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的方法为仲载方法.
5包装、标志、贮运及安全
5.1包装、标志及贮运
5.1.2包装硒化氢的气瓶应符合GB5099GB/T11640的规定.
5.1.3推荐使用经过内表面处理的气瓶.推荐使用CGA350瓶阀.
5.1.4应防止瓶口被污染和泄漏.
5.1.5硒化氢的充装应符合GB14193的相关规定.
5.1.6气瓶颜色标志应符合GB7144的规定.
5.1.7运输时，硒化氢气瓶上应附有GB190中指定的标志.
5.1.8包装容器土应标明“电子硒化氢”字样.
5.1.9瓶装硒化氢的最大充装量按式（2）计算；
式中：
5.1.10硒化氢的充装量按实际称量的质量计.
5.1.11硒化氢的保存期限按GB/T26571规定执行.
5.1.12硒化氢出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：产品名称，生产厂名称；生产日期或批号，充装质量（kg）； 一本标准号及技术指标，检验员号.
5.1.13硒化氢产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁暴晒，远离热源.
5.2安全警示
解成H：和Se：在潮湿空气中可分解成晒；在空气中燃烧时发出青色火焰，并生成SeO：白色粉末：如果 空气供给不充分，则析出单体硒：与硝酸激烈反应，也和氧化物猛烈反应，且有火灾及爆炸的危险；与烷基卤化物形成复盐：能与橡胶中的硫磺作用使橡胶变质：自催化性强，一旦分解形成金属覆盖膜，则急速分解，所以晒化氢的容器、管道的内表面应清洁平滑：能溶于水、二硫化碳和光气；溶于水形成水合物，水溶液呈弱酸性：在水溶液中与硫磺反应生成硫化氢与确.
5.2.2与晒化氢接触时，不应使用明火、不应有火花和不应吸烟：不应与高湿表面接触：若发生火灾，应切断气源，如对周围环境无危险，让火自行燃烧完全.其他情况用干粉、二氧化碳灭火.
5.2.3时间加权平均接触限值：0.3×10（体积分数）.短期接触限值：1×10（体积分数）.最高容许含量：0.1×10（体积分数）.0.14mg/m”.
短期接触限值：每次接触时间不得超过15min的时间加权平均接触限值.
5.2.4硒化氢吸人体内将造成伤害.硒化氢对上呼吸道粘膜和眼结膜有强烈的刺激作用.接触数分钟至3h内，陆续出现中毒症状：流泪、咽喉痛、咳嗽、伴有胸阅、胸痛.重者进一步发展为化学性肺炎或中毒性肺水肿，患者出现呼吸困难，心跳加快，面色苍白，皮肤粘膜紫钳.
5.2.5长期接触晒化氢可引起角膜坏死，皮肤烧伤，皮炎等症状.
5.2.6冻伤时应用大量水冲洗，不应脱去衣物，应及时治疗.
5.2.7泄漏时，应迅速撒离泄露污染区人员至上风处，并隔离直至气体散尽.切断火源、气源.用稀碱
