中华人民共和国国家标准
GB/T26307-2010
银 靶
Silver target
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口.本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草. 本标准主要起草人：闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩、
银 靶
1范围
本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单（或合同）内容.
本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材（以下简称银靶），其他用途的靶材也可参照使用.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T4135银 GB/T6394金属平均晶粒度测定方法GB/T11067银化学分析方法GB/T15077贵金属及其合金材料儿何尺寸测量方法
3要求
3.1产品分类
银靶的类型按化学成分为IC-Ag99.99一种.银靶的形状和尺寸主要由设备基台确定，外形主要为圆形、矩形和异型.
3.2化学成分
银靶IC-Ag99.99的化学成分应符合GB/T4135的规定，需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由供需双方协商确认，
3.3晶粒度
银靶的横向平均晶粒度应在50pμm~150μm.
3.4外观质量
银靶表面应无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷：无润滑痕迹、颗粒附加物和其他沾污：应清洁光滑，无指痕，无油污和锈蚀.
3.5表面粗糙度
银靶表面租糙度Ra值应不大于1.6μm.
3.6几何尺寸
3.6.1圆形银靶的直径主要有：25mm、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm.厚度通常为3 mm~35 mm.
GB/T 26307-2010
3.6.2矩形银靶的尺寸主要有：152mm×76.2mm 680mm×90mm376mm×40mm，厚度通常为3 mm~35 mm.
3.6.3银靶的尺寸及其允许偏差应符合表1的规定.经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的 银靶.
表1
单位为毫米
矩形 允许偏差 形 允许偏差 厚度 允许偏差50~<120 ±0. 15 25~<120 ±0. 15120~<400 ±0.2 120 ~300 ±0.2 3~35 ±0.1400~700 ±0.3 4试验方法 4.1银靶IC-Ag99.99的化学成分的分析方法按GB/T11067（部分）的规定执行. 4.2晶粒度的检测采用现场金相或取样检测.现场金相的检测方法见附录A，取样检测按GB/T6394的规定进行. 4.3外观质量用目视检查，如发现异常现象，在10倍放大镜条件下进行目视检查. 4.4表面租糙度由粗糙度仅检测. 4.5银靶儿何尺寸的测量按GB/T15077的规定进行. 5检验规则 5.1检验和验收 5.1.1产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书. 5.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验.如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决.如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方场所共同进行. 5.2组批 产品应成批提交验收，每批应由同一投料批、同一规格的产品组成. 5.3检验项目及取样 检验项目、取样位置及数量应符合表2的规定. 表2 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 检验的章条号按铸锭数量的20%进行抽化学成分 铸锭缩孔下 检，但不少于1个铸锭；每铸 锭取1个样 3.2 4 1 表2（续） 检验项目 取样位置 取样数量 要求的章条号 检验的章条号品粒度 部位 机加工前靶坯微射面任意 检，但不少于1个 按或品数量的10%进行抽 3 3 4 2外观质量 任意部位 逐件 3.4 4.3按成品数量的10%进行抽表面粗糙度 任意部位 检但不少于1个 3 5 4 4几何尺寸 逐件 3 6 4.5 5.4检验结果的判定 5.4.1化学成分不合格时，判该锭不合格.重新取双倍数量的铸锭取样进行检验，若仍有不合格，则判该批不合格.5.4.3外观质量不合格时，判该件产品不合格.5.4.4表面粗糙度不合格时，重新取双倍样进行检验，若仍有不合格，判该批产品不合格，但允许将剩余产品逐件检验，合格者重新组批交货.5.4.5几何尺寸不合格时，判该件产品不合格. 5.4.2晶粒度不合格时，重新取双倍样进行重复试验，重复试验若仍有不合格，则判该批不合格. 6标志、包装、运输、贮存 6.1标志 在已检验合格的每块银靶上进行如下标记： b）纯度； a）产品名称；c）规格；d）批号. 6.2包装、运输和贮存 6.2.1产品用防静电塑料袋真空封装，并放在防止碰撞的包装盒内.6.2.2每块产品应附标签，注明：产品名称、纯度、规格、净重、批号、生产日期、供方名称、生产厂家地址电话，6.2.3产品运输过程中应防止碰伤、擦伤，不得损坏和沾污产品，并保证运输过程中靶材完整.6.2.4产品应保存于清洁、干燥的环境中. 6.3质量证明书 每批产品应附有质量证明书，注明下列内容： a）客户名称； b）供方名称；c）产品名称；d）纯度；
