中华人民共和国国家标准
GB/T26598-2011
光学仪器用透明导电薄膜规范
Transparent conductive thin film speciation for optical instruments
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准由中国机械工业联合会提出,本标准由全国光学和光子学标准化技术委员会(SAC/TC103)归口. 本标准起草单位:中国船舶重工集团公司七一七研究所.本标准主要起草人:熊长新、朱道、刘水心.
光学仪器用透明导电薄膜规范
1范围
本标准规定了光学仪器用透明导电薄膜的分类、要求、试验方法及检验规则.本标准适用于在光学玻璃上镀制全介质透明导电薄膜.
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款,凡是注日期的引用文件,其随后的修改单(不包含勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然面,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准.
GB/T1185光学零件表面病(GB/T1185-2006,1SO10110-7:1996,NEQ)
GB/T2423.1电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验A:低温(GB/T2423.12008 1EC 60068-2-1 ; 2007 IDT)
GB/T2423.3电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Cab:恒定湿热试验(GB/T 2423.3-2006 IEC 60068-2-78 :2007 IDT)
2008 1EC 60068-2-11:1981 IDT) GB/T2423.17电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Ka:盐雾(GB/T2423.17
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划(GB/T 2828.1-2003 ISO 2859-1:1999 IDT)
GB/T2829周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)
3术语和定义
下列术语和定义适用于本标准.
3. 1全介质透明导电薄膜all dielectric transparent conduetive coating
采用介质材料作膜料镀制的具有一定可见光波段透过率和一定电导率的光学薄膜.
3. 2普通透明导电薄膜general transparentconductivecoating在零件表面仅镀制单一膜料的透明导电薄膜.
增透透明导电薄膜antireflective transparent conductive coating为提高零件的透过率,在零件表面镀制两种及以上膜料的透明导电薄膜.
4技术要求
4.1总则
以相关图样要求为准. 膜层的个性化要求应符合本标准和相关图样的要求.若本标准的要求与相关图样要求不一致,应
4.2镀膜面积
应在整个零件表面或在图样规定的区域镀膜.
4.3镀膜后零件的光学与电学性能
4.3.1光学性能指标
光学仪器用透明导电薄膜的光学性能应与零件导电性能相匹配.透明导电薄膜所适用的波长范围见表1,单面镀制透明导电薄膜的光学与电学性能的匹配见表2.
表1
波长范围 最小值 最大值膜系 nm nm nm普通透明导电薄膜 425 675 ≤1.50增透透明导电薄膜 400 760 <1 80 注1:样品厚度不大于1mm. 注2:中心波长a由式(1)给出: 表2 方电阻 R/(Q/) R≤8 8<R≤10 10<R≤20 20<R≤50 50100普通透明导 >82 >84 >84 >85 >85平均透过 电薄膜膜系 增透透明导率/% 电海膜膜系 >90 16 >92
4.3.2导电性能指标
镀膜后零件的方块电阻R的范围为:3Ω/口≤R≤3000Ω/
4.4镀膜后零件表面质量
膜层表面不允许有起皮、脱膜、裂纹、起泡和灰雾等缺陷.
4.4.1外观
4.4.2膜层表面疵病
膜层表面麻点、擦痕等疵病应符合GB/T1185的要求.
4.5膜层牢固性
4.5.1附着力
用专用透明胶带纸粘在膜层表面上,垂直迅速拉起后,应无脱膜现象.
4.5.2摩擦
膜层能经受压力为4.9N外襄脱脂布的橡皮摩擦头摩擦50次(25个来回),应无擦痕等损伤迹象.
4.6环境适应性
4.6.1低温
无包装情况下,在一40℃土2℃的环境中保持2h,样品透过率损失应小于1%,膜层表面质量应符合4.4.1和4.4.2的要求.
4.6.2湿热
损失应小于1%,膜层表面质量应符合4.4.1和4.4.2的要求. 无包装情况下,在温度为40℃士2℃,相对湿度为90%~95%的条件下保持时间24h,样品透过率
4.6.3盐雾
无包装情况下,在温度为35℃土2℃的盐雾箱内,经浓度为4.9%~5.1%,pH为6.5~7.2的氯2
化钠溶液连续喷雾8h,样品透过率损失应小于1%,膜层表面质量应符合4.4.1和4.4.2的要求.
5试验方法
5.1镀膜面积
5.1.1试验工具
脱脂布、丙酮、乙醇、异丙醇等或其混合液.
5.1.2试验程序
在对样品进行各项试验前后,被检验膜层应用脱脂布加清洁液仔细清洁,清除灰尘、指印、污点等.清洁液可选用丙酮、乙醇、异丙醇等或其混合液,清洁液湿度小于27C.
5.2光学性能指标
5.2.1试验工具
分光光度计,准确度优于1%.
5.2.2试验程序
根据使用的光谱范围,在零件有效区域内任意位置测量光学性能指标,测量时入射角取零度.当被检零件不宜测量时,用光学性能相同的平面试验片代替,检验结果应满足表2的要求.
5.3导电性能指标
四探针测试仪或其他相应的测试装置.
5.3.2试验程序
在膜层通光区的任意部位测量其电阻值,必要时须对仪器用标准电阻块校正后再进行测量.
5.4镀膜后零件表面质量
5.4.1外观
5.4.1.1试验工具60W~100W的磨砂白炽灯或两根15W的冷白荧光灯,
5.4.1.2试验程序
用60W~100W的磨砂白炽灯或两根15W的冷白荧光灯照射光学零件镀膜表面,眼晴到镀膜件的观察距离不超过450mm,在黑色背景下借助反射光进行目视检查.
5.4.2膜层表面疵病
5.4.2.1试验工具同5.4.1.1.
5.4.2.2试验程序
膜层表面麻点、擦痕等疵病用60W~100W的磨砂白炽灯或两根15W的冷白荧光灯照射光学零件镀膜表面,眼睛到镀膜件的观察距离不超过450mm,在黑色背景下借助反射光进行目视检查.如有规定时,可使用4倍~10倍放大镜进行检验.
5.5膜层牢固性
5.5.1附着力
5.5.1.1试验工具2cm宽剥离强度不小于2.74N/cm的透明胶带纸.