中华人民共和国国家标准
GB/T32293-2015
Vacuum technology-Selection of leak testmethods for vacuum equipment
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
目 次
前言1范围2规范性引用文件3术语和定义 4人员资格5通用要求6检漏方法汇总7检漏方法选择程序8检漏方法的选择9检漏安全附录A（规范性附录） 不同检漏条件的漏率修正附录B（规范性附录） 真空设备常用检漏方法及主要特征参数附录C（资料性附录） 真空设备其他检漏方法及主要特征参数
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.
本标准由中国机械工业联合会提出.
本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口.
本标准起草单位：北京卫星环境工程研究所、中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所、安徽皖仪科技股份有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、中山凯旋真空技术工程有限公司、威海智德真空科技有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研究所.
本标准主要起草人：孙立臣、史纪军、李得天、刘恩均、汪力、目荣鑫、张春元、孙刚、陈光奇、刘磊、黄文平、赵伟胜、赵计春、言继春、王功发、言润泉、高峰、胡双丽、林乐忠、王长明、王玲玲.
真空技术真空设备的检漏方法选择
1范围
本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数，
本标准适用于真空设备的检漏方法选择，适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀备、半导体生产设备等真空设备.工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准执行.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T9445无损检测人员资格鉴定与认证
GB/T3163真空技术术语
3术语和定义
GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件.
3.1漏率leakage rate在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量.
3.2 有效最小可检漏率effectiveminimum detectableleakagerate在具体的工作条件下，检漏方法所能检出的最小漏孔漏率.
3.3允许漏率acceptable leakage rate 真空设备正常工作所能接受的最大漏率.
3.4黏滞漏孔viscousleak漏孔的质量流率反比于流动气体黏度的一种漏孔.
3.5分子漏孔molecular leak漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔.
4人员资格
建议进行检漏方法选择的人员具备GB/T9445所要求的2级或2级以上资格.
GB/T 32293-2015
5通用要求
5.1检漏方法
示例：氨质谱真空护罩法的基础方法是氮质谐真空法，应用技术是护罩技术. 检漏方法应包括基础检漏方法和应用技术两部分.
5.2选择检漏方法的要求
选择检漏方法时应综合考虑有效最小可检漏率、检漏技术条件、安全因素和经济因素.
5.3允许漏率
5.3.1允许漏率的组成
真空设备有密封要求的组成部分及连接处的漏率之和组成真空设备的允许漏率，且应不大于真空设备的允许漏率.
5.3.2确定的要素
允许漏率应与真空设备的功能和工作条件相符，并明确检漏条件.主要的检漏条件有：
a）温度：b）压力；c）示踪介质.
5.4检漏的要求
5.4.1漏率修正
检漏条件应与真空设备的工作条件一致，如无法满足.可按附录A修正漏率.
5.4.2泄漏稳定时间
选择任何一种检漏方法进行检漏时，都应考虑泄漏稳定所需要的时间.
5.4.3洁净要求
真空设备在检漏时应洁净、去污，避免污染物堵塞漏孔，典型的污染物来源有：
a）碎肩；（3 b）灰尘；d）焊渣；e）油漆标记；f）表面腐蚀.
6检漏方法汇总
6.1常用检漏方法
真空设备常用检漏方法及主要特征参数见附录B，常用基础检漏方法有：
