中华人民共和国国家标准
GB/T 34178-2017
光掩模石英玻璃基板
Silica glass substrates for photomask
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.
本标准由中国建筑材料联合会提出，
本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447）归口.
本标准起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙部光络版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心.
本标准主要起草人：吴洁、王京侠、王友军、李式舟、花宁、刘焕敏、肖额华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语.
光掩模石英玻璃基板
1范围
本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存.
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS）、光电器件和发光二级管（LED）等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T3284-2015石英玻璃化学成分分析方法GB/T5949透明石英玻璃气泡、气线试验方法GB/T32189氮化单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法JC/T185光学石英玻璃 JC/T655石英玻聘制品内应力检验方法JC/T2205石英玻璃术语
3术语和定义
JC/T2205界定的以及下列术语和定义适用于本文件.
总厚度变化total thickness variation：TTV
石英玻璃基板厚度的最大值和最小值间的差.
3.2
平整度flatness
表面相对于规定的基准面的偏差，以测量范围内总的示值读数（TIR）表示. 石英玻璃基板背表面为理想平面时，例如，背表面放置在一个理想、平坦的平面上，石英玻璃基板正
4要求
4.1规格尺寸及尺寸偏差
4.1.1石英玻聘基板为正方形，形状示意图见图1，常规边长及边长偏差应符合表1的规定.
表1边长偏差
单位为毫米
边长 边长偏差50 4 63 1、75 8 88 5 101 2126 6 152 0 177 4 200 0 ±0 20228 6 254 0 304 8 ±0 30
说明：
1-质量区； 2-非质量区；--石英玻聘基板边长；R--石英玻聘基板顶角半径.
图1石英玻璃基板形状及顶角形状示意图
4.1.2石英玻璃基板常规厚度为1.50mm、2.30mm、3.05mm、3.80mm、4.57mm、4.60mm、6.35mm.厚度偏差应不超过土0.10mm.
4.1.3石英玻璃基板总厚度变化应符合表2的规定.
表2总厚度变化（TTV）
边长/ 总厚度变化（TTV）mm rm1<101 2101.2≤/≤152.0 ≤10177 4≤/≤200 0 供需双方商定
4.1.4石英玻璃基板顶角的直角偏差应不超过士3”.
4.1.5石英玻璃基板顶角半径为2mm~3mm，顶角形状示意图见图1.
4.1.6石英玻璃基板边部应倒角，倒角形状示意图见图2.倒角角度为45°土5°，倒角的直边长度应符 合表3的规定.
例角角度：C- 倒角的直边长度；石英玻璃基板的厚度.
图2倒角形状示意图
表3石英玻璃基板边部倒角尺寸
单位为毫米
边长 例角直边长度C≤228.6 0 30≤C≤0.60{>228.6 0 30≤C≤0.90
4.1.7石英玻璃基板标记形状示意图见图3，标记面为石英玻聘基板背表面.标记的尺寸A为1mm~2mm，尺寸B最大为1mm.
说明：
A 标记直边到顶角距离：B 一标记的深度.
图3标记形状示意图
4.2外观质量
4.2.2石英玻璃基板质量区的外观质量应符合表4的规定.
4.2.1石英玻璃基板的正表面、背表面、顶角、倒角、直边为抛光面.
