JJF1238-2022 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范.pdf
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中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1238-2022
集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范
Calibration Specification for Testing Systems of Microcircuits Electro-static Discharge (ESD)Sensitivity
2022-09-26 发布
2023-03-26 实施
国家市场监督管理总局 发布
内容目录：
目录
引言(II)
1范围(1)
2引用文件(1)
3术语(1)
4概述(1)
5计量特性(3)
5.1人体模型放电(3)
5.2机器模型放电(3)
5.3闩锁模型放电(4)
6校准条件(4)
6.1环境条件(4)
6.2测量标准及其他设备(4)
7校准项目和校准方法(5)
7.1校准项目(5)
7.2校准方法(5)
8校准结果的表达(10)
9复校时间间隔(11)
附录A原始记录格式(12)
附录B校准证书内页格式(15)
附录C主要项目校准不确定度评定示例(18)
内容摘抄：
集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范
1范围
本规范适用于集成电路静电放电敏感度测试设备（人体模型、机器模型和闩锁模型)的校准。
2引用文件
GJB548B一2005微电子器件试验方法和程序
ANSI/ESD STM.5.1一2007静电放电敏感度测试 人体模型(HBM)器件级
For Electrostatic Discharge Sensitivity Testing-Human Body Model (HBM)Compo-nent Level]
JESD22-A115C一2010静电放电敏感度测试一机器模型(MM)Electrostatic Discharge (ESD)Sensitivity Testing,Machine Mode (MM)]
JESD78E一201l6集成电路闩锁测试(IC Latch-Up Test)
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。
3术语
3.1(人体模型)脉冲持续时间(uman Body Model)pulse duration
放电电流从100%峰值衰减到36.8%峰值所需要的时间。
3.2(机器模型)谐振频率(Machine Model)resonance frequency
放电电流第1次过零点与第3次过零点时间间隔t的倒数。
4概述
集成电路静电放电敏感度测试设备（也称ESD设备）主要模拟产生自然界中人体、机器可能带有的静电电压，并将产生的静电电压施加到被测器件上，以考察器件的抗静电能力。
根据放电机理，集成电路静电放电敏感度测试设备（以下简称被校设备）可模拟人体、机器和门锁三种放电模型。其中，人体模型模拟人体带电后对电子元器件的静电放电，机器模型模拟带静电机器或设备对电子元器件的静电放电，门锁模型是模拟集成电路中的寄生可控硅结构被导通后对器件造成的放电。人体模型放电的短路电流波形如图1所示，机器模型放电的短路电流波形如图2所示，闩锁模型放电的电压波形如图3所示。
（略）