中华人民共和国出入境检验检疫行业标准
SN/T5822-2025
可循环利用的溅射后靶材检验 高纯金属靶材
Inspection of recyclable sputtered targetsHigh puritymetallic targets
中华人民共和国海关总署 发布
前言
起草. 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中华人民共和国海关总署提出并归口.
本文件起草单位：广州海关技术中心、宁波海关、中国有色金属工业协会再生金属分会、中国环境科学研究院、中国海关科学技术研究中心、宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、 福建阿石创新材料股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司.
本文件主要起草人：肖前、周君龙、唐志银、钟步江、萧达辉，任飞、郑建国、张震坤、刘巍、张华、赵彤、陈立国、杨飞、朱晓东、王学泽、何金江、张科、朱赞芳、钟伟华.
可循环利用的溅射后靶材检验 高纯金属靶材
1范围
本文件规定了可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验流程、检验内容和结果判别.本文件适用于可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB34330固体废物鉴别标准通则
关于发布进口货物的固体废物属性鉴别程序的公告（生态环境部、海关总署2023年第2号）
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件.
3.1
高纯金属靶材highpurity metallic target
有很高纯度的固体金属材料块. 在物理气相沉积（PVD）过程中.作为溅射法沉积薄膜工艺的阴极部分接受高速离子束流的轰击，具
注：高纯金属靶材的类别和主要品种见附录A.
3.2
属靶材剩余部分，经回收后能作为制备高纯金属靶材或其他高纯金属材料的原料. 在溅射后，在化学特性、物理特性等方面与原靶材相比基本未发生改变且符合本文件要求的高纯金
3.3
夹杂物foreign substance
固定架等必要配件、靶材粘结材料，配套填充物[如乙烯-醋酸乙烯共聚物（EVA）泡沫棉]、安装制具以及 在生产，收集、包装和运输过程中混人溅射后高纯金属靶材原料中的其他物质，但不包括靶材自身的在运输过程中使用的包装材料.
注1：常见夹杂物包括木材、纺织物、塑料、玻璃、石材、纸、沙、污泥，粉状物（粉末、结品盐、纤维末等）等非金属物质.
注2：靶材粘结材料用于靶胚和背板的绑定工艺，常见有金属钢，锌锡合金等，存在于靶胚和背板的粘结面.
3.4
危险物质hazardous substance
爆炸品、高压容器、密闭容器及危险废物.注：危险废物是指列人《国家危险废物名录》或者根据国家规定的危险废物鉴别标准和鉴别方法认定的具有危险特性的固体废物.
