ICS77.040 CCS H 17 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42276—2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子 含量的测定离子色谱法 Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder- Ion chromatography method 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42276—2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位：新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏 塞夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属 技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司. 本文件主要起草人：银波、邱艳梅、刘国霞、黄彬、李素青、张吉武、宋炳信、鲁文锋、王港、李玫、 张正霞、吴英良、侯倩慧、王晓娇、曹家凯、高裕昆、崔巍. I GB/T42276—2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子 含量的测定离子色谱法 1范围 本文件描述了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的离子色谱测定方法. 本文件适用于氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定，测试范围为0.0500mg/g~0.600mg/g. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 本文件. GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法 GB/T14666分析化学术语 3术语和定义 GB/T14666界定的术语和定义适用于本文件. 4方法原理 氮化硅粉体样品在氧气和水蒸气混合气流中燃烧水解，氮化硅中的氟、氯分别转化为挥发性氟化物 和氯化物，并以离子形式溶于水中，用离子色谱仪测定氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量. 5干扰因素 5.1样品的称样量过大会造成燃烧不充分，进而影响测试结果，建议称取0.100g试样. 5.2样品与石英砂应混合均匀，平铺于瓷方舟内，否则会影响测试结果. 5.3氧气流量过大或过小都会影响燃烧结果，建议调整氧气流量为400mL/min. 5.4燃烧水解装置的密封性应足够好，否则会造成检测结果偏低. 6...
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