SJ 中华人民共和国电子行业标准 FL6130 SJ/Z21580-2020 半导体分立器件统计过程控制 技术实施指南 Guide for statistical process control technique implementation of discrete semiconductor devices 2020-06-03发布 2020-08-01实施 SJ 国家国防科技工业局发布 老A 2019 BTANDARDE SJ/Z21580-2020 目 次 前言… Ⅲ 1范围 2规范性引用文件 y 3术语与定义 4SPC体系与SPC实施方案 5关键过程节点与监控参效的确定原则 6数据采集…… 6 SJ 7测量仪器的表征和分 6 8过程能力评价分 9SPC控制图.… 10典型过程节点SPC技术自施 附录A(资料附录)数 人1L 6 6 7 12 ..17 …27 附录D(资料性录)控制制图的选用与控制装计算 35 SYNIW A90 STANDARDS I SJ/Z21580-2020 前言 本指导性技术文件的附录A、附录B、附录C和附录D为资料性附录. 本指导性技术文件由工业和信息化部电子第四研究院提出. 本指导性技术文件由工业和信息化部电子第四研究院归口. 本指导性技术文件起草单位：工业和信息化部电子第四研究院、济南市半导体元件试验所、西安电 子科技大学. 本指导性技术文件主要起草人：张秋、张玉斤、 快秀萍韩力娟、李锯、贾新章. FORMATION TECHNOT SJ STANDARDS III ...
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