CCS H83 ICS 29.045
GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 20228-2021代替GB/T20228-2006
砷化家单晶 Gallium arsenide single crystal
2021-05-21发布2021-12-01实施 国家市场监督管理总局发布 国家标准化管理委员会
GB/T 20228-2021
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。
本文件代替GB/T20228-2006（砷化单晶》，与GB/T20228-2006相比，除结构调整和编辑性 改动外，主要技术变化如下： a）更改了标准的适用范围（见第1章，2006年版的第1章）； b）增加了规范性引用文件GB/T13388（见第2章）； c）删除了“术语和定义"中的单品、品锭的定义（见2006年版的第3章）； d）删除了按生长方法的分类（见2006年版的4.1.2），增加了按直径的分类（见4.2.2）； e）删除了单晶锭的表示方法（见2006年版的4.3）： f）原文件中的“单晶““单品锭“统一为“砷化嫁单晶"（见第5章，2006年版的第5章）； g）更改了尺寸的要求（见5.1.2006年版的5.3.2）； h）更改了表面质量的要求（见5.2，2006年版的5.3.3）； i）更改了参考面的要求（见5.3，2006年版的5.3.1），并增加了试验方法、检验规则中相应的内容 （见6.3、第7章）： j）增加了品向偏离度的要求（见5.4）； k）更改了非掺半绝缘砷化单晶的霍尔迁移率、电阻率的要求（见5.5，2006年版的5.1.2）： 1）增加了截面电阻率不均匀性的要求（见5.5）及其计算方法（见6.5）； m）增加了掺C半绝缘砷化家单品的电学性能要求（见5.5）； n）更改了位错密度的要求（见5.6.2006年版的5.2）； o）更改了组批、检验项目、取样、检验结果判定的内容（见7.2~7.4，2006年版的7.3~7.5）； p）更改了随行文件的内容（见8.5，2006年版的8.3）： q）增加了“订货单内容”（见第9章）。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准 化技...
