SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳.pdf

ICS71.100.20 G86 备案号：50574-2015 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11517—2015 电子工业用气体一氧化碳 Gases for electronic industry-Carbon monoxide 2015-04-30发布 2015-10-01实施 VONVL s10 S 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11517-2015 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203/SC1)归口. 本标准起草单位：西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、广东华南特种 气体研究限公司、北京绿菱气体科技有限公 本标准主要起草人：方华、玉新 美修 汤有伦、周鹏云. INDUSTR 合 SJ STANDARDS I ...