ICS31-550 L95 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T37466—2019 氮化镓激光剥离设备 Laser lift-off equipment used for GaN 2019-06-04发布 2019-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T37466—2019 目 次 前言 Ⅲ 1范围 2规范性引用文件 1 3术语和定义 4产品分类和标记 2 4.1分类 2 4.2型号标记 3 5工作条件 4 5.1电源 4 5.2环境温度 4 5.3相对湿度 4 5.4大气压力 4 5.5 洁净室等级 4 5.6 电磁干扰 4 5.7地基振动要求 4 6要求 A 6.1外观 4 6.2 激光要求 4 6.3 扫描台 5 6.4整机性能 5 6.5 电气要求 5 6.6 控制装置 1中 5 6.7 软件要求 6 6.8 电磁兼容 6 6.9 噪声 6 6.10 平均无故障时间 6 6.11安全要求 6 7检测方法 7 7.1外观检查 7 7.2 激光检查 7 7.3 扫描台检查 ...8 7.4 整机性能检测 9 7.5 电气检查 9 7.6 控制装置检查 10 7.7 软件检测 10 7.8电磁兼容试验 10 GB/T37466—2019 7.9噪声测试 10 7.10平均无故障时间验证 .10 7.11安全要求检查 10 8检验规则 11 8.1检验分类 11 8.2鉴定检验 11 8.3出厂检验 11 8.4判定规则 11 9标志、包装、运输和贮存 12 9.1标志 12 9.2包装 12 9.3运输 13 9.4贮存 13 ...
GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备.pdf
