G 86 ICS 71.100.20
GB 中华人民共和国国家标准
GB/T 36653-2018
电子级三甲基铝
Electronic grade trimethylaluminium
2018-09-17 发布2019-01-01实施 国家市场监督管理总局发布 中国国家标准化管理委员会
GB/T36653-2018
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位：江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院。
本标准主要起草人：陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰。
I
GB/T36653-2018
电子级三甲基铝
1范围
本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。
该产品主要 用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式:CH,A1 相对分子质量：72.09（按2013年国际相对原子质量计算）
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括的修改单)适用于本文件。
GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB/T6680液体化工产品采样通则 GB/T11446.1电子级水 GB12463危险货物运输包装通用技术条件 GB 15258化学品安全标签编写规定 GB 15603常用化学危险品贮存通则 GB 50073洁净厂房设计规范
3技术要求
三甲基铝的技术指标应符合表1要求。
表1技术指标
项目指标 三甲基铝(CHgAl)纯度（质量分数)/10-299.999 95 银(Ag)含量/(μg/g)^0.2 硼(B)含量/(μg/g)0.5 钡(Ba)含量/(μg/g)Λ0.1 金属元素铍(Be)含量/(μg/g)Λ0.03 及其他元 素含量钙(Ca)含量/(μg/g)0.03 镉(Cd)含量/(μg/g)Λ0.1 钴(Co)含量/(μg/g)Λ0.1 铬(Cr)含量/(μg/g)Λ0.1
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GB/T36653-2018
表1 (续)
项目指标 铜(Cu)含量/(μg/g)Λ0.05 铁(Fe)含量/(μg/g)Λ0.1 锗(Ge)含量/(μg/g)Λ0.5 汞(Hg)含量/(μg/g)0.5 镁(Mg)含量/(μg/g)Λ0.05 锰(Mn)含量/(μg/g)Λ0.1 镍(Ni)含量/(μg/g)0.3 金属元素铅(Pb)含量/(μg/g)Λ0.5 及其他元硫(S)含量/(μg/g)Λ1 素含量硅(Si)含量/(μg/g)0.2 锡(Sn)含量/(μg/g)Λ1 锶(Sr)含量/(μg/g)Λ0.1 钛(Ti)含量/(μg/g)Λ0.1 钒(V)含量/(μg/g)Λ0.3 锌(Zn)含量/(μg/g)Λ0.1 氧和有机杂质当甲基峰信噪比达到80×10以上,扣除空白峰
后未检测出甲氧基峰与有机杂质峰即为合格
4试验方法
4.1三甲基铝纯度 三甲基铝纯度按照式(1)计算： w=100-(w+w2+w+w+ws)×10-.(1) 式中: w三甲基铝纯度（质量分数),10-²； W1硅元素含量(质量分数),单位为微克每克(μg/g)； W2铜元素含量（质量分数），单位为微克每克（μg/g)； W3镁元素含量(质量分数),单位为微克每克(μg/g); WA锌元素含量(质量分数),单位为微克每克(μg/g); W5铁元素含量（质量分数），单位为微克每克（μg/g）。
4.2环境条件 4.2.1取样、测试环境应符合GB50073的规定，空气洁净度等级为6N。
4.2.2测试环境温度20℃～28℃，相对湿度≤80%。
4.3金属元素及其他元素含量 4.3.1仪器 采用电感耦合等离子体原子发射光谱法（ICP-OES)测定三甲基铝中的银、硼等金属及其他元素的 2
GB/T36653-2018
含量。
仪器分辨率：≤0.01nm；仪器波长范围：160nm～800nm。
方法检出限：小于或等于表1所列相应元素杂质指标。
4.3.2材料与试剂 4.3.2.1无氧无水情性气氛操作箱。
4.3.2.2精度为0.1mg分析天平。
4.3.2.3超净工作台：应符合GB50073中规定，空气洁净度等级为5N。
4.3.2.4硝酸或盐酸：分析纯，金属及其他元素含量低于0.01μg/g。
4.3.2.5溶解液：5%硝酸或盐酸溶液。
应的含量相近。
4.3.2.7试验用水：符合GB/T11446.1中EW-I级的要求。
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