ICS71.040.40 G86 GB 中华人民共和国国家标雅 GB/T35315-2017 LED行业用氨气处理指南 Guide for ammonia effluent handling in LED industry 2017-12-29发布 2018-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T35315-2017 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：苏州金宏气体股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东 华特气体股份有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化 工研究设计院有限公司. 本标准主要起草人：孙猛、金向华、牛艳东、傅铸红、杜汉盛、张晓东、郭秀丽、方华、周鹏云. I GB/T35315-2017 LED行业用氨气处理指南 1范围 本标准规定了用水吸收法处理LED行业用氨气尾气的技术要求. 本标准适用于LED行业用氨气尾气的处理. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB50016建筑设计防火规范 GB50040动力机器基础设计规范 GB/T50087工业企业噪声控制设计规范 GB50187工业企业总平面设计规范 GB50489化工企业总图运输设计规范 TSG21固定式压力容器安全技术监察规程 特种设备质量监督与安全监察规定 特种设备安全监察条例 3缩略语 下列缩略语适用于本文件. LED:发光二极管(Light Emitting Diode). MOCVD:金属有机化学气相沉积(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition). 4总体要求 4.1LED行业用氨气的处理技术，应满足国家对安全、环保和职业卫生等方面的要求，同时应满足处 理工艺技术要求. 4.2LED行业用氨气处理工艺的设计、建设应采取有效的隔声、消声、绿化等降低噪声的措施，噪声和 振动控制的设计应符合GB/T50087和GB50040的规定. 4.3处理技术应采取必要的措施，保证废气、废液、固体废物等废弃物的处理处置符合相应标准的要求. 4.4处理工艺的总平面布置按GB50016、GB50187和GB50489的规定执行. 4.5处理工艺的设备应符合TSG21、《特种设备质量监督与安全监察规定》、《特种设备安全监察条例》 的相关规定. 5工艺流程 5.1工艺流程图 LED行业用氨气处理工艺应由氨气尾气收集系统、氨气吸收系统、中和吸收系统、冷源提供系统、 1 ...
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