中华人民共和国国家标准
GB/T 48076-2026
Nanotechnology--Carbon nanotube probe scanning microscopy-Measurement of high aspect ratio micro-nano structures
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
目次
前言引言1范围2规范性引用文件3术语和定义4缩略语5基本原理6设备 7样品要求8测试环境9测量方法10测量结果与不确定度分析 1s11测量报告附录A（资料性） 使用本文件所述方法的测量示例附录B（资料性）样品表面污染物及清洁方法附录C（资料性）测量报告示例参考文献 II
前言
本文件按照GB/T1.1-2020（标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由中国科学院提出.本文件由全国纳米技术标准化技术委员会（SAC/TC279）归口.本文件起草单位：西安交通大学、中国计量科学研究院、探真纳米科技（衢州）有限公司.本文件主要起草人：杨树明、张国锋、吉培瑞、李适、李伟、崔波、贾宪生.
