ICS31.550 CCS L95 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11829.2—2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相 淀积(PECVD)设备第2部分：板式 PECVD设备 Plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD)equipment used for crystalline silicon photovoltaic cells-—Part2:Plate PECVD equipment 2022-10-20发布 2023-01-01实施 SJ 中华人民共和国工业和信息化部发布 OFANDARON SJ/T11829.2-2022 目次 前言 III 1范围 1 2规范性引用文件. .1 3术语和定义. ..1 4型号命名 2 5工作环境及工作条件 USTRY AND . 3 6要求.. INFORMATION 3 7检验方法. 5 8检验规则.. 9 9标志、包装、 10 HO SJ STANDARDS ...
SJ/T 11829.2-2022 晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式 PECVD 设备.pdf
