T/ZZB 3620-2024 环形线单晶硅棒截断机.pdf

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团 体 标 准

T/ZZB 3620-2024

环形线单晶硅棒截断机

Loop mono-silicon cutting machine

浙江省质量协会发布

目次

1范围.2规范性引用文件3术语和定义,4基本参数5型号.6基本要求,7技术要求8试验方法9检验规则10标志、包装、运输和贮存11质量承诺.附录A (规范性)精度项目要求及检验方法

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利,本文件的发布机构不承担识别专利的责任.本文件由浙江省质量协会归口.本文件主要起草单位:天通日进精密技术有限公司.本文件主要起草人:苏静洪、裴忠、张钦亮、梁文、康维东、戴建良、陆吴强、俞佳文、吴西、翟 本文件参与起草单位:嘉兴学院、嘉兴嘉麟智能科技有限公司.潇杰、徐海钢、章魏威、周振峰、王锐.

本文件评审专家组长:陈锋.

环形线单晶硅棒截断机

1范围

本文件规定了环形线单晶硅棒截断机的基本参数、型号、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存和质量承诺.

本文件适用于采用环形金刚线加工直径为200m~340mm的单晶硅棒截断机(以下简称截断机).

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用面构成文件必不可少的条款.其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件:不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件.

GB/T307.1-2017滚动轴承向心轴承产品几何技术规范(GPS)和公差值GB/T1958-2017产品几何技术规范(GPS)几何公差检测与验证GB2894安全标志及其使用导则GB/T5226.1-2019机械电气安全机械电气设备第1部分:通用技术条件 GB/T7344交流伺服电动机通用技术条件GB/T9969工业产品使用说明书总则GB/T14264半导体材料术语GB15760-2004金属切削机床安全防护通用技术条件GB/T17421.1-1998机床检验通则第1部分:在无负荷或精加工条件下机床的几何精度 GB/T17421.2-2016机床检验通则第2部分:数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定GB/T17421.5机床检验通则第5部分:噪声发射的确定GB/T17587.3-2017滚珠丝杠副第3部分:验收条件和验收检验

3术语和定义

GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件.

3. 1

环形线单晶硅棒截断机1oopmono-silicon cuttingmachine

具备上料、切割头定位、支撑固定、切割、吹干及下料功能,将单晶硅圆长棒采用环形金刚线切割成短硅棒的加工成套设备.

4基本参数

截断机的基本参数应符合表1的规定.

表1基本参数

项目名称切割头 数量/个 ≥1

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